品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 電子 | 納米模式下的Z軸分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡) |
納米表面輪廓儀
IMOS納米表面輪廓儀實現了精確、定(ding)量(liang)、iso兼容、非接觸式表面(mian)測(ce)量(liang)和表征(zheng)微和納米尺度的表面(mian)特(te)征(zheng),在(zai)短(duan)短(duan)幾秒鐘內可捕(bu)獲多達(da)200萬個數(shu)據點。選擇(ze)正確的光學(xue)輪廓儀(yi)系統取決于您的應用程序的要求(qiu),包括速度、精度、垂直范圍、自動化和靈活性。
IMOS光(guang)(guang)學(xue)表(biao)面(mian)(mian)輪(lun)廓儀在非接觸式光(guang)(guang)學(xue)表(biao)面(mian)(mian)輪(lun)廓方面(mian)(mian)提供(gong)了強大的(de)(de)通用性。有了該系統,它可(ke)以方便快捷地測量(liang)各種表(biao)面(mian)(mian)類型,包括光(guang)(guang)滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯。所有的(de)(de)測量(liang)都是無(wu)損的(de)(de),快速的(de)(de),不需要特殊的(de)(de)樣品準備。納(na)米(mi)表(biao)面(mian)(mian)輪(lun)廓儀系統的(de)(de)核心是部分(fen)相干光(guang)(guang)干涉(she)技術(shu),它提供(gong)亞納(na)米(mi)精度測量(liang)更廣(guang)泛的(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)比其(qi)他商業(ye)可(ke)用技術(shu)。
IMOS 納米表面輪廓儀提供了不同的應用程序的特殊價值,如平直,粗糙度,波浪形,臺階高度等等。
IMOS 納米(mi)表面(mian)輪(lun)廓儀配備了一個變(bian)焦頭,可(ke)以填充離散變(bian)焦光學(xue)定制(zhi)的(de)系統。樣本分段配置范圍從*自(zi)動化到(dao)*自(zi)動化的(de)編(bian)碼(ma)行程(cheng)。
IMOS 納米表面(mian)輪廓儀提供高精度測量,易(yi)于使(shi)用(yong),快速(su)測量,有(you)吸引(yin)力的價(jia)格,使(shi)其成(cheng)為多功能3D光學輪廓儀的理(li)想選擇。
納米表面輪廓儀主要優點(dian):
- 納米模式下的Z軸分(fen)辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)
~ 0.3um微地貌模式下
- 外形緊湊;
- 快速響應;
- 抗外部振(zhen)動;
- 測量過程自動化(hua)程度高;
- 特殊的用戶友好的界面(mian);
- 高質(zhi)量的(de)圖形(xing)界面(mian),以工作(zuo)與多計劃三維(wei)表示的(de)測量結果;
- 廣(guang)泛的(de)可(ke)能性配置的(de)顯微鏡,以各種形態-邏輯的(de)測量表(biao)面;
- 能夠(gou)工作在兩(liang)種(zhong)模式:微浮(fu)雕和納米(mi)浮(fu)雕;
- *的存儲(chu)系(xi)統和測量結(jie)果的系(xi)統化。
在(zai)硅(gui)(gui)基板上的Pd薄(bo)膜,高度(du)100nm硅(gui)(gui)晶體表面的階地,高度(du)為0.314nm在(zai)硅(gui)(gui)基板上的Pd薄(bo)膜,高度(du)100nm
微起伏模式下的(de)測量結果
硅晶體表面的階地,高度為0.314nm
認證口徑,標稱高度值為101nm±3%
IMOS納米表面輪廓儀組成
光電探測器*
矩形(xing)ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
顯微物鏡*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不變
壓電掃描振鏡
位移臺
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相機抓幀器
位移臺控制器
設備控(kong)制(zhi)器
計算機
軟件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
* – 按客(ke)戶需求
衍射元件, 厚 3,7 μm