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全功(gong)能X射線(xian)顯微鏡

研(yan)究型X射線(xian)顯微(wei)(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)XROS MF30，使用(yong)具有比可見光短(duan)的(de)波長的(de)X射線(xian)作(zuo)為探針(zhen)，獲(huo)得具有高空(kong)間分辨率的(de)圖(tu)像。此(ci)系統(tong)也集成光學顯微(wei)(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)，X射線(xian)攝(she)影，局部元素XRF微(wei)(wei)(wei)(wei)分析(xi)，元素mapping等功能(neng)(neng)。全功能(neng)(neng)X射線(xian)顯微(wei)(wei)(wei)(wei)鏡(jing)(jing)

全功能X射線顯微鏡特點：

微焦(jiao)點(dian)X射線管

用(yong)于X射線(xian)波束形成的可(ke)變光束尺寸的聚(ju)毛細管透鏡

一組基本的(de)輻射濾波器

攝像機用于選擇分析區域

用于分析(xi)區域調查(cha)的光學數(shu)碼顯微(wei)鏡

光(guang)學(xue)顯微鏡軸線與x射線探針(zhen)軸線相(xiang)結(jie)合

工作(zuo)距離的自(zi)動選擇系統

自動X、Y坐標取樣臺，用于分析區域的(de)定位(wei)和(he)掃描(miao)

分析單元(yuan)沿Z軸(zhou)的自動移動

射線檢查用探測器

用于局部XRF分(fen)析(xi)的(de)硅漂移檢測器

用于分析(xi)輕元素的真空測量(liang)室

內(nei)置的自動X光管水冷卻系統(tong)

軟件(jian)：

高壓發生器
采樣和波束定位
真空

局部元素(su)分析與元素(su)填(tian)圖

用一個(ge)經認證的樣品進行校正
一個(ge)(ge)校準曲(qu)線與(yu)幾(ji)個(ge)(ge)認證的樣品
特(te)征(zheng)線能量(liang)和強度的測定
定性(xing)半(ban)定量(liang)分析(基本參(can)數法)
從(cong)光(guang)譜庫中尋(xun)找類似(si)物進(jin)行(xing)光(guang)譜比較
用(yong)戶定(ding)義樣例區域的元(yuan)素映(ying)射mapping
光譜和映射結(jie)果存儲到(dao)數據(ju)文件
對存儲的光譜(pu)進行(xing)比較，減法(fa)，歸一化
在(zai)光學(xue)和(he)射線圖(tu)(tu)像(xiang)上(shang)疊加光譜映(ying)射圖(tu)(tu)像(xiang)結果
自動分析在用戶定(ding)義的(de)點的(de)樣本

X射線攝影

數字亮度和(he)對比(bi)度控制
縮放
測量圖像點間的距離

記(ji)錄和數據(ju)存儲

在數據庫中存儲圖像
保存測量結果(guo)并導出(chu)到(dao)其(qi)他Windows程序
數字(zi)化圖像記錄到外部媒體
圖像和協議打印

一組(zu)可更換輻射(she)濾光片(12個(ge))
X射線管
內置水冷系統
硅漂移探測器
回看攝像機
光學顯微鏡軸與微探針軸結(jie)合(銳(rui)度自動調節)
光(guang)學顯微鏡(手動調整銳度)
樣(yang)品臺(XY位移(yi)，精度10um)

束源
微焦點X射線管:
X射線管zui大(da)電壓	45 kV
X射(she)線管zui大功率(lv)	500 W
陽極材料	Mo, other by request
用于X射線波束(shu)(shu)形成的可(ke)變光(guang)束(shu)(shu)尺寸的聚毛細(xi)管透(tou)鏡 X射線光束直徑	30 - 1 000 μm
一組基本的光(guang)束濾(lv)波器	Zr, Ti, Mo, Ag, Al, Cu, Cl

光學研究

光學數字顯微鏡：

大變焦

200х

樣品定位和mapping
用攝像機選擇分析區域(yu)
光(guang)學顯微鏡結合X射(she)線探頭的軸線來控(kong)制分析區域
樣品(pin)和探針移動系統：
工(gong)作距離自動選擇系(xi)統
分析單元沿Z軸移動
Z軸定位精度	12 μm
一個自(zi)動階(jie)段的XY對象定(ding)(ding)位和(he)掃(sao)描在一個用(yong)戶定(ding)(ding)義(yi)的樣本區域XY定(ding)(ding)位精(jing)度(du)	10 μm
zui大掃描區域	150x150 mm
zui大樣品尺寸	300х210х100 mm
zui大樣品重量	1 kg

X射線熒光分析
局(ju)部(bu)元素(su)分析(xi)用能量色(se)散半導(dao)體(ti)探(tan)測器
硅(gui)漂移探測器(qi) (SDD)
在Mn線Kα上的探測器的能量分辨率	<150 eV
光譜范圍	1 - 40 keV
zui大計數率	1 000 000 cps
濃度范圍	from 1 ppm to 100%

X射線攝影

用(yong)于(yu)射線(xian)照(zhao)相研究的(de)通(tong)過樣(yang)本輻射傳(chuan)輸的(de)點探(tan)(tan)測器(可(ke)選(xuan)ccd探(tan)(tan)測器)

分析單元
電源	230 V, 50 Hz
Size (W x D x H)	615 x 665 x 650 mm
Weight	85 kg

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全功能X射線顯微鏡

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