| 供貨周期 | 一周 |
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AU-XRT系(xi)列壓電旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)臺(tai)是一款緊(jin)湊(cou)的(de)(de)高精(jing)度的(de)(de)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)平(ping)(ping)臺(tai)。該(gai)系(xi)列旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)臺(tai)采(cai)用軸承技術，使(shi)壓電旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)平(ping)(ping)臺(tai)的(de)(de)徑向、軸向和(he)(he)傾斜(xie)方向上(shang)的(de)(de)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)誤差都非常的(de)(de)小。這使(shi)的(de)(de)該(gai)系(xi)列旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)臺(tai)成(cheng)為市面(mian)上(shang)zui精(jing)確地產品。該(gai)系(xi)列平(ping)(ping)移臺(tai)由滑塊驅動和(he)(he)超聲波(bo)馬達(da)兩(liang)種驅動方式，可進行連續旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)，對角度無限制，并且集(ji)成(cheng)了(le)光(guang)學編碼器(qi)閉環控制，使(shi)壓電旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)臺(tai)擁有*的(de)(de)分辨率和(he)(he)可重復性。
上海昊量(liang)光電(dian)(dian)設備有限公司推出(chu)的壓(ya)電(dian)(dian)旋(xuan)轉(zhuan)臺按(an)照(zhao)使用馬達的不同可以分為兩類。
1）使用超聲(sheng)波(bo)馬(ma)達驅動的旋轉臺，AU-XRT-U系(xi)列。
AU-XRT-U系列是由(you)超聲(sheng)波壓電馬達驅動的(de)(de)(de)緊湊而精(jing)確(que)的(de)(de)(de)旋轉(zhuan)臺。其與(yu)空氣軸承旋轉(zhuan)臺擁(yong)(yong)有相媲美(mei)的(de)(de)(de)旋轉(zhuan)精(jing)度和(he)誤差但(dan)是卻擁(yong)(yong)有更小的(de)(de)(de)體積和(he)更低(di)廉的(de)(de)(de)價格。與(yu)其它壓電技術相比超聲(sheng)波壓電電機擁(yong)(yong)有更長的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)壽命(ming)、更低(di)的(de)(de)(de)功耗并(bing)(bing)且無(wu)噪(zao)聲(sheng)。并(bing)(bing)且集成了光學編(bian)碼(ma)器(qi)閉環控制，精(jing)度zui高可達到0.0002°，速度zui大可達到1080°/s。該系列用(yong)AU-XRT-U30和(he)AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuan)臺。
Fig1 運動(dong)誤差測量(liang)
Fig2 AU-XRT-U
2)滑塊式壓(ya)電(dian)馬達驅動旋轉臺AU-XRT-A.
AU-XRT-A采(cai)用(yong)滑塊(kuai)式壓(ya)(ya)電馬達驅動，利用(yong)軸承技術，即使在(zai)旋轉(zhuan)過程中也可以主動將(jiang)徑向誤差(cha)運動補償(chang)，這使得其成為(wei)(wei)市場上*的zui為(wei)(wei)精確的壓(ya)(ya)電旋轉(zhuan)臺，AU-XRT-A的徑向誤差(cha)小于500nm，可以與(yu)空(kong)氣軸承精度相媲美，并且(qie)體積(ji)緊(jin)湊價格低廉，并且(qie)可以提供真空(kong)和(he)磁性應用(yong)的產品。
Fig3. 運動誤差測(ce)量(liang)
Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuan)臺
主要特點
l 高精度（200μ°）
l 高速(su)度（1080°/s）
l 可在真空10-6mbar和磁性（1.5T）條件使用
主要應用
l 微(wei)型CT掃描儀(yi)
l X射線衍射系統
l 電子(zi)顯微鏡
l 同步加速器
l 計量學(xue)
產(chan)品參數：
AU-XRT-U30 | AU-XRT-U40 | AU-XRT-A | |
Drive principle: | ultrasonic piezo motor | stick-slip | |
Radial error motion: | < 5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB) | down to 500 nm | |
Axial error motion: | < 3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB) | < 1 µm | |
Tilt (wobble): | < 50 µrad (-PB) | < 100 µrad | |
Load capacity: | < 1 kg | ≤ 1 N (100 g) | |
Aperture: | 7mm | 10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor | |
Driving torque: | 14 Nmm | 20 Nmm | |
Holding torque: | 7 Nmm | 10 Nmm | |
Speed: | from 8 m°/s up to 3 rev/s | ± 2 rpm | |
Resolution: | 6.25 m° (-S) | 6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P) | 6.25 m° (-S)
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