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納(na)米(mi)級高速(su)大(da)行程壓電馬達平移臺

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波(bo)馬(ma)達是通過一個耦(ou)(ou)合(he)元(yuan)件(jian)抵住移(yi)動(dong)導向轉(zhuan)(zhuan)子(zi)，在(zai)高(gao)頻電流下壓電陶(tao)瓷促(cu)(cu)動(dong)器被激發產生超聲波(bo)振動(dong)，促(cu)(cu)動(dong)器的(de)變(bian)形使耦(ou)(ou)合(he)元(yuan)件(jian)相對(dui)于轉(zhuan)(zhuan)子(zi)產生周期性的(de)對(dui)角(jiao)運(yun)(yun)動(dong)，每(mei)個循環(huan)的(de)進給(gei)為(wei)幾(ji)個納米，高(gao)頻的(de)信號，可(ke)以使轉(zhuan)(zhuan)子(zi)高(gao)速的(de)運(yun)(yun)動(dong)。因此AU-XLS系列壓電馬(ma)達平移(yi)臺的(de)zui大速度可(ke)達到400mm/s。

理論上壓(ya)電馬達平(ping)移臺的行程僅取(qu)決于轉子的長度(du)，因此AU-XLS系列(lie)位移平臺(tai)可(ke)提供的行(xing)程范圍可(ke)達94mm，采用線性(xing)編(bian)碼器位(wei)置傳感(gan)器閉環控(kong)制，使位(wei)移平臺的位(wei)移分(fen)辨率(lv)可達到(dao)78nm，在(zai)滿足(zu)大(da)行程的同時實現了高的精度(du)。由于壓電(dian)陶瓷已(yi)經加載了預加力，因此斷電(dian)之后平移臺(tai)會有自鎖(suo)功能(neng)，使位移平臺(tai)依然(ran)保持在(zai)原位。這樣可以減(jian)少了能(neng)源的消耗和產熱(re)量，提高了位移平臺(tai)的精度(du)。

此外，由于該平臺(tai)采用模塊化設(she)計(ji)，因(yin)此該平移臺(tai)可(ke)以組成多維位(wei)移平臺(tai)，并且可(ke)以提供真空兼容和(he)非磁位(wei)移平臺(tai)。

主要特(te)點：

l  大行程 （92mm）

l  高精(jing)度（78nm）

l  高速(su)度（400mm/s）

l  支持斷電(dian)自鎖

l  可在真空(kong)和非(fei)磁(ci)環境

主要應用：

l  光電子(zi)學

l  掃描電子(zi)顯(xian)微鏡

l  半導體生(sheng)產

l  醫學(xue)和材料科學(xue)

l  生命(ming)科學(xue)與(yu)生物(wu)技術(shu)學(xue)

l  顯微鏡和計(ji)量(liang)學

產品(pin)參數：

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納米級高速(su)大行(xing)程壓電(dian)馬達(da)平移(yi)臺

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采(cai)用無聲的超聲波馬達，超(chao)聲波(bo)(bo)馬(ma)達是通過一個耦(ou)合元件抵住移(yi)動(dong)(dong)導向(xiang)轉子(zi)(zi)，在高(gao)頻電流下壓(ya)(ya)電陶(tao)瓷促動(dong)(dong)器(qi)被激發產(chan)生超(chao)聲波(bo)(bo)振動(dong)(dong)，促動(dong)(dong)器(qi)的(de)變(bian)形(xing)使耦(ou)合元件相對(dui)(dui)于轉子(zi)(zi)產(chan)生周期性的(de)對(dui)(dui)角運動(dong)(dong)，每個循環的(de)進給為幾個納米(mi)，高(gao)頻的(de)信號，可以使轉子(zi)(zi)高(gao)速(su)的(de)運動(dong)(dong)。因此AU-XLS系列壓(ya)(ya)電馬(ma)達平(ping)移(yi)臺的(de)zui大速(su)度(du)可達到(dao)400mm/s。

理論上壓電馬(ma)達(da)平移臺的行程僅取決于轉子的長度，因此(ci)AU-XLS系列位移平臺(tai)可(ke)提供(gong)的(de)行程范圍可(ke)達94mm，采用線性編碼器位(wei)置傳感器閉環控制，使位(wei)移平臺的(de)位(wei)移分(fen)辨率可達(da)到78nm，在(zai)滿足大行程(cheng)的(de)(de)同(tong)時實現了(le)高的(de)(de)精度。由于(yu)壓(ya)電(dian)陶瓷已經(jing)加載了(le)預加力，因(yin)此斷電(dian)之后平(ping)移臺會(hui)有(you)自鎖功能，使(shi)位(wei)移平(ping)臺依然保持在(zai)原位(wei)。這樣(yang)可以減少了(le)能源的(de)(de)消(xiao)耗和產(chan)熱(re)量，提高了(le)位(wei)移平(ping)臺的(de)(de)精度。

此外，由于(yu)該平(ping)(ping)臺采用(yong)模塊化設計，因此該平(ping)(ping)移臺可以組成(cheng)多維位(wei)移平(ping)(ping)臺，并且可以提供(gong)真(zhen)空(kong)兼(jian)容和非磁(ci)位(wei)移平(ping)(ping)臺。

主要特點：

l  大行程 （92mm）

l  高精度（78nm）

l  高(gao)速度（400mm/s）

l  支(zhi)持(chi)斷電自(zi)鎖(suo)

l  可在真(zhen)空和非磁環境

主要(yao)應用：

l  光(guang)電子學(xue)

l  掃描電子顯(xian)微鏡

l  半(ban)導(dao)體(ti)生產

l  醫學(xue)和材料科學(xue)

l  生(sheng)命科學與生(sheng)物(wu)技術學

l  顯微鏡(jing)和(he)計量(liang)學

產品參數：