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光腔衰蕩(dang)光譜方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一種(zhong)基(ji)于高精細度諧(xie)振腔的(de)高靈敏度探測(ce)技術,主要用于精確(que)測(ce)量各種(zhong)反(fan)射率(lv)大于99%的(de)超高反(fan)射率(lv)反(fan)射鏡的(de)反(fan)射率(lv),測(ce)量精度可達(da)百(bai)萬分之一量級!
光(guang)腔(qiang)衰(shuai)蕩光(guang)譜方法通過對指數型的腔(qiang)內衰(shuai)蕩信號(hao)的檢測,擺脫了激光能量輸(shu)出(chu)的(de)起(qi)伏所引起(qi)的(de)誤差。由兩片99.99% 反射率組成(cheng)的(de)光(guang)腔(qiang)對損耗的(de)測量(liang)精度可達ppm量(liang)級。
應(ying)用領域:
高反射鍍膜層損(sun)耗的精密測量
正入射(she)反(fan)射(she)率R>>99%的平面(mian)或凹面(mian)光學元件的損耗測量
精度dR/R<2ppm @ R>99.5%
檢(jian)測用(yong)激光波長可(ke)選(如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm)
測量原(yuan)理:
脈沖光或快速開關的連續(xu)光耦合(he)進諧振腔
待測膜(mo)層在每(mei)次往(wang)返(fan)光程中(zhong)經(jing)反射產生損耗
時間(jian)相關的輸出信號的精確測量得(de)到衰(shuai)蕩數(shu)據
脈沖光往返(fan)時(shi)間已知,根據衰蕩的時(shi)間特點,得到反射率
技術指標:
測量反射率: R>>99%
精度: dR/R < 2ppm @ R>99.5%
樣品/基底(di)要求*: ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm
基底透明,后表面(mian)(mian)平面(mian)(mian)拋光
*0o正入射測量,其他要求可訂制。
供電(dian)電(dian)源:
激光(guang)器(qi) 100~240VAC, 50~60Hz
探測器 +/-9 VDC
接口: USB 2.0
含數據采集(ji), A-D轉換,數據處(chu)理等模塊。軟件包括(kuo)反(fan)射(she)率(lv)分析(xi)、生產數據錄入及處(chu)理等。