| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子 |
納米平移臺(tai)（壓電馬達型(xing)，10-1500mm行程）
XLS系(xi)列線性位移平(ping)臺，是由(you)超(chao)聲波(bo)壓(ya)電馬(ma)達(da)驅(qu)(qu)動，可提(ti)供不(bu)同(tong)行程的精確定位。由(you)于采用(yong)超(chao)聲波(bo)壓(ya)電馬(ma)達(da)驅(qu)(qu)動，速度(du)可達(da)到200mm/s，并(bing)且該平(ping)臺非常適用(yong)于掃描(miao)，可提(ti)供恒定的掃描(miao)速度(du)，速度(du)不(bu)穩定性低于2%。
該平臺(tai)(tai)采(cai)用超聲(sheng)波(bo)馬達(da)，對于(yu)這種馬達(da)平臺(tai)(tai)的(de)運動是通過接觸(chu)點的(de)橢圓振(zhen)蕩產(chan)生(sheng)。如下圖所示。通過橢圓的(de)振(zhen)蕩推動平臺(tai)(tai)產(chan)生(sheng)微小(xiao)移動，并通過高(gao)頻(pin)率產(chan)生(sheng)*的(de)速度，并且(qie)沒有噪(zao)聲(sheng)，電(dian)機(ji)在(zai)(zai)定(ding)位后(hou)可產(chan)生(sheng)自鎖，由于(yu)馬達(da)在(zai)(zai)橢圓振(zhen)蕩的(de)上端才會與平臺(tai)(tai)接觸(chu)，大(da)大(da)提高(gao)平臺(tai)(tai)的(de)使用壽命(ming)通常在(zai)(zai)10-100km。
XLS系(xi)列平臺可(ke)提(ti)供不(bu)同(tong)(tong)的行程，行程范圍可(ke)達到100mm。為了(le)適應(ying)不(bu)同(tong)(tong)精(jing)度要求的應(ying)用，平臺集成不(bu)同(tong)(tong)精(jing)度的位置傳感器(qi)，目(mu)前(qian)可(ke)提(ti)供的位置傳感器(qi)有1.25μm；330nm；78nm和1nm具體參數如(ru)下圖所示：
此(ci)外根據不同應用可(ke)(ke)以選擇不同行程的平臺(tai)，可(ke)(ke)提供平臺(tai)行程參數如下：
此(ci)外，由于該平(ping)(ping)(ping)臺采用(yong)模塊化設(she)計(ji)，可(ke)以組成多維位移(yi)(yi)平(ping)(ping)(ping)臺，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且(qie)可(ke)以提供真空兼(jian)容和非磁(ci)位移(yi)(yi)平(ping)(ping)(ping)臺。
主要特(te)點(dian)：
l 大行(xing)程 （100mm）
l 高精度(du)（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持(chi)斷電自鎖(suo)
l 可在真空和(he)非(fei)磁環(huan)境
主要應用(yong)：
l 光電子學
l 掃(sao)描電子顯微(wei)鏡
l 半導體生(sheng)產(chan)
l 醫學(xue)和材料科學(xue)
l 生命科學與生物技(ji)術學
l 顯(xian)微(wei)鏡和計(ji)量(liang)學
納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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