高精度微型六足平移臺

簡要描述：昊量(liang)光電設備有限公司(si)推出(chu)的(de)六足(zu)位移平(ping)(ping)臺(tai)(tai)是基于線性平(ping)(ping)臺(tai)(tai)模組開發的(de)六維運(yun)動控(kong)制系統。該平(ping)(ping)臺(tai)(tai)可提(ti)供六個自(zi)由度(du)控(kong)制（XYZ和繞三個軸的(de)旋轉）。與常(chang)規的(de)六足(zu)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)相比(bi)該平(ping)(ping)臺(tai)(tai)，該平(ping)(ping)臺(tai)(tai)體(ti)積更緊湊，擁(yong)有較高的(de)剛度(du)和較低的(de)運(yun)動質(zhi)量(liang)，并且客戶可以自(zi)定義虛(xu)擬(ni)運(yun)動軸點。高精度(du)微型六足(zu)平(ping)(ping)移臺(tai)(tai)

產品(pin)型號：
廠商性質：代理商
更新時間(jian)：2021-06-02
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精密定位系統/平移臺

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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,生物產業,電子,交通,航天

高精度微型六維位移(yi)臺

昊量(liang)光電設(she)備有限公司推出的(de)(de)六足位移(yi)平(ping)(ping)臺(tai)是(shi)基于線(xian)性(xing)平(ping)(ping)臺(tai)模組開發的(de)(de)六維運動控(kong)制系統。該平(ping)(ping)臺(tai)可提(ti)供六個自(zi)由(you)度(du)控(kong)制（XYZ和繞三(san)個軸的(de)(de)旋轉）。與常規(gui)的(de)(de)六足平(ping)(ping)臺(tai)相比(bi)該平(ping)(ping)臺(tai)，該平(ping)(ping)臺(tai)體(ti)積更緊(jin)湊，擁有較(jiao)高的(de)(de)剛度(du)和較(jiao)低的(de)(de)運動質(zhi)量(liang)，并(bing)且客戶可以(yi)自(zi)定義虛(xu)擬運動軸點。

由于(yu)平臺均采用模塊(kuai)化(hua)設計(ji)，因(yin)此其運動尺寸和作用力可以根據需求的不同做(zuo)定制(zhi)，行程可從幾(ji)厘米(mi)(mi)(mi)到(dao)一米(mi)(mi)(mi)，分辨(bian)率(lv)可達到(dao)納(na)米(mi)(mi)(mi)量(liang)級。

產品擁有以(yi)下特(te)點：

1）擁有六(liu)個自由度

平臺是一個并(bing)聯運動納米操作系統(tong)，不同于(yu)常(chang)規的(de)堆疊設計，該平臺由(you)(you)多個線(xian)性平臺同時運動驅(qu)動。定位器(qi)的(de)平行設置優化了整個系統(tong)的(de)剛度，并(bing)允許控制所有六個自由(you)(you)度（X,Y,Z,俯仰，偏航(hang)和旋轉(zhuan)）

2）用戶可自(zi)定義(yi)軸(zhou)心(xin)點(dian)

可(ke)自(zi)由設置軸(zhou)心點，可(ke)繞空(kong)間任意一點旋(xuan)轉

3）多選項

高(gao)&超高(gao)真空兼容

非磁材(cai)料

抗紫外線材料

4）高(gao)分辨率和(he)重復精度

無反向空回的(de)(de)機(ji)械設計使該系統與(yu)線性(xing)平臺有相同的(de)(de)量級的(de)(de)性(xing)能，分辨率可(ke)達(da)(da)到1nm和1μrad，X,Y,Z的(de)(de)雙(shuang)向可(ke)重復性(xing)可(ke)達(da)(da)到200nm，旋轉重復精度(du)可(ke)達(da)(da)10μrad，對于小行程重復精度(du)會更(geng)高。

上(shang)海(hai)昊(hao)量提供的六維(wei)調(diao)節架主要包含以下幾款產品。

Positioner Series		70.42	115.25	110.45	225.75	P-SLC-17	P-SLC-24	P-SLL	Wafer-2000
Picture
Travel (mm)	X	10	11	20	41	48	79 to 119	20 to 1200	200
	Y	10	11	20	41	28 to 48	45 to 119	45 to 119	200
	Z	5	5	11	21	≤9	≤12	≤16	10
Rotation(°）	Qx	14	18	21	20	≤28	≤31	≤42	6
	Qy	16	20	24	23	≤26	≤27	≤33	7
	Qz	28	37	38	41	≤20	≤42	≤42	24
repeatability forfull travel range	nm	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200
repeatability forfull travel range	μrad	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10
max. vertical load [N]		5	5	5	10	5	10	10	20
max. horizontal load [N]		2.5	2.5	2.5	5	2.5	5	5
dimension [mm2]		F70	F115	F110	F225	110´50	110´90	250´80	420´430