| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子 |
石墨烯CVD制備設備
這款配置的低真(zhen)空(kong)CVD系(xi)統由(you)1200℃真(zhen)空(kong)管(guan)式爐,3通道氣路系(xi)統和真(zhen)空(kong)系(xi)統組(zu)成,可(ke)根據用(yong)戶需要設計生產有雙溫(wen)區、三溫(wen)區、多溫(wen)區),可(ke)預抽真(zhen)空(kong)(有高真(zhen)空(kong)、低真(zhen)空(kong)),通多種氣氛(供氣系(xi)統有質子(zi)流量控(kong)(kong)制器和浮子(zi)流量控(kong)(kong)制器〕。真(zhen)空(kong)泵、閥均釆用(yong)進口設備,性能(neng)可(ke)靠(kao)。控(kong)(kong)制電躋選用(yong)模糊PD程(cheng)控(kong)(kong)技術,具有控(kong)(kong)溫(wen)精度髙,溫(wen)沖幅度小,性能(neng)可(ke)靠(kao),簡單(dan)易(yi)操作等特(te)點(dian)。CVD生長系(xi)統適用(yong)于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶片導(dao)電率測試、ZnO納米(mi)結構的可(ke)控(kong)(kong)生長、陶瓷(ci)電容(rong)(MLCC)氣氛燒(shao)結等。
技術參數(shu)
1200雙溫區加熱爐
電壓(ya) AC220V 50/60Hz
功率 4.5KW 雙(shuang)溫控
Max溫度 1150 °C
工作溫度 ≤ 1100 °C
升溫速率 ≤ 15°C/min
溫(wen)控(kong)系(xi)統 PID自動(dong)控(kong)制(zhi)晶閘管（可控(kong)硅(gui)）輸出功(gong)率，30段(duan)可(ke)編程控制器
恒溫精度 ±1°C
石英管 25/50/60/80*1400mm
三路質量流量控制系統
MAX電壓 185~245V/50Hz
MAX輸(shu)出功率(lv) 18W
流量計標準量程 50，100，200，500SCCM（非(fei)特殊以氮氣標定，量程可(ke)選(xuan)定）
工作溫度 5~45 °C
工作(zuo)壓差 0.1~0.5 MPa
MAX壓力 3MPa
準確度(du) ±1.5%FS
低真空系統
采用雙極(ji)旋片真空泵
不銹鋼充油真(zhen)空(kong)壓(ya)力表，良好(hao)的抗震性
安裝過(guo)濾(lv)器(qi)
內置測溫(wen)系統
測溫元件可從加(jia)熱區(qu)(qu)邊緣延(yan)申至溫區(qu)(qu)中心法蘭密封，保(bao)證爐管的密封性測溫元件，N型熱電偶
法蘭及支撐
304不銹鋼快(kuai)速(su)水(shui)(shui)冷法(fa)蘭(lan)，長期(qi)水(shui)(shui)冷無腐蝕，一個卡箍就能完(wan)成法(fa)蘭(lan)的連(lian)接，放取物料(liao)方便快(kuai)捷可調節法(fa)蘭(lan)的支撐，平衡爐(lu)管的受力(li)支撐。包含進氣，出氣，真空(kong)抽口針(zhen)閥，KF密(mi)封圈及卡箍組合，4個密(mi)封硅(gui)膠圈等。
可選配(pei)件
混(hun)氣系(xi)統(tong)，中，高(gao)真空系(xi)統(tong)，各種剛玉坩堝(guo)，石英管，計(ji)算(suan)機控制軟件，無紙記(ji)錄儀(yi)，氧含(han)量分(fen)析(xi)儀(yi)，冷卻水循環機。
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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