| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子 |
滑(hua)動式二硫(liu)化鉬CVD制備(bei)設備(bei)
一、 概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、 設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐，HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動)，質量流量計供氣系統，機械式真空泵等組成。
三、 主要技術參數
硫粉預(yu)熱器
型號：HTF-400C
工作溫度：350℃
MAX溫度：400℃
MAX升溫速率：30℃/min
推薦升溫速率：10℃/min
控(kong)溫方式：智能化30段可編程控(kong)制
工作電壓：AC220 V額定功率：800W
控溫(wen)精度：±1℃
加熱元件：電阻絲
雙(shuang)溫(wen)區(qu)硫(liu)化爐
型號：HCVD-1200S
技術參數(shu)：額定功率(KW):3
額定電壓(ya)(V):AC220v 50/60 Hz
MAX溫(wen)度(℃):1200（1 hour）
持續工作溫度(℃）：1100
升溫速率（℃/min）：≤50
爐管(guan)尺寸（mm）：高純(chun)石英管(guan)Φ50×1500mm
加熱區長度（mm）：440mm
恒溫區長(chang)度（mm）:200mm
控溫方式:模糊PID控制和自整(zheng)定調節，智(zhi)能化30段可編(bian)程控制，具有(you)超溫和斷偶報警功能
控(kong)溫精(jing)度(℃):±1
加熱元件:電阻絲
供氣系(xi)統GMF3Z
質量(liang)流量(liang)計重量(liang)：35Kg
外(wai)形(xing)尺寸：600x600x650mm
連(lian)接頭(tou)類型(xing)：雙(shuang)卡套不(bu)銹鋼(gang)接頭(tou)
標準量(liang)程(cheng)（N2標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根(gen)據用(yong)戶要求定制）
準確度：±1.5%線性：±0.5～1.5%重復精(jing)度：±;0.2%
響應時間：氣特(te)(te)性(xing)：1～4 Sec，電特(te)(te)性(xing)：10 ;Sec
工(gong)作壓差范(fan)圍(wei)：0.1～0.5 MPa MAX壓力：3MPa
接(jie)口：Φ6,1/4''
顯示：4位數字顯示
工作環(huan)境溫度(du):5~45℃
內外雙拋不銹鋼管：Φ6
壓力真(zhen)空(kong)表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 ;MPa/格
截止閥：Φ6
低(di)真(zhen)空機(ji)組VAU-02
技術參數：
空氣相對濕度≤85%
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽氣速率：4Ls
極(ji)限真空：4X10-2Pa
實(shi)驗真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
進氣口口徑：KF25
排(pai)氣口口徑：KF25
轉速(su)：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力，INFICON PCG554復合(he)真空計
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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