納米精度電動平(ping)移臺。

納米精度，大行程電動平移臺！

所屬類別：光機產品/精密定位控制系統 » 電動平移臺

技術服務人員：李工(William)

納米精度電動平移臺。

電(dian)(dian)(dian)控位移(yi)(yi)臺也(ye)稱為電(dian)(dian)(dian)控平移(yi)(yi)臺是一種依靠步進電(dian)(dian)(dian)機(ji)驅(qu)動的執行裝置(zhi)，通過(guo)絲杠將步進電(dian)(dian)(dian)機(ji)的角位移(yi)(yi)轉換為平臺位移(yi)(yi)。通常情況(kuang)下該系(xi)統由(you)三(san)部分組成：位移(yi)(yi)臺、電(dian)(dian)(dian)機(ji)和控制(zhi)器(qi)。驅(qu)動電(dian)(dian)(dian)機(ji)及控制(zhi)器(qi)主(zhu)要決定(ding)驅(qu)動扭矩、分辨率、加減速度(du)、信(xin)號處理等性能參(can)數。位移(yi)(yi)臺則是系(xi)統的心臟(zang)，主(zhu)要指(zhi)標參(can)數有位移(yi)(yi)精度(du)、行程、負(fu)載(zai)、穩(wen)定(ding)性、適用環(huan)境等。

上海昊(hao)量光電設備有(you)限公(gong)司推出的(de)電動平(ping)移臺(tai)傳動螺桿采用(yong)滾珠絲杠實現高(gao)速(su)平(ping)穩運動，*的(de)螺桿品質使平(ping)移臺(tai)擁有(you)的(de)分辨(bian)率、定(ding)位精度(du)。采用(yong)超(chao)高(gao)等級交叉滾珠導軌，具有(you)超(chao)高(gao)的(de)運動性能。該(gai)系統采用(yong)光柵尺閉(bi)環(huan)控制，在確保大行程(cheng)的(de)同時(shi)，分辨(bian)率達到了1nm。按照(zhao)定位精度(du)區分(fen)，我司平移臺可分(fen)為 1nm高精度位移臺、5納米精度(du)和10納米精(jing)(jing)度(du)位(wei)移臺、亞微米精(jing)(jing)度(du)位(wei)移臺。

1）1nm高精度電控位移臺(tai)。

該系(xi)類(lei)位移臺(tai)可分為諧波齒輪5相(xiang)步(bu)進電機驅動和普通的(de)5相步進電機(ji)兩種類型的平移臺(tai)。采用光柵尺位置反饋閉環控(kong)制使其分(fen)辨率(lv)可(ke)達到1納米，重(zhong)復定位精度可達到±2nm，可提供(gong)20mm、40mm和50mm三種不(bu)同的行程，并可以組裝成多維電控運動系(xi)統。

2）5nm精度電控位移臺(tai)

該系類(lei)產品是一款擁(yong)有(you)5納米定位精度的閉環控制平移臺，可提供 20mm、40mm、和50mm三(san)個不同(tong)的行程，由于采用(yong)光柵尺(chi)位(wei)置編碼閉環反(fan)饋控制，使其擁有優(you)秀的分辨率、定位(wei)精(jing)度及重復定位(wei)精(jing)鍍(du)。

3）10nm精度電控位移臺

該系類(lei)電控位(wei)移臺是(shi)擁(yong)有10nm分辨率的(de)閉(bi)環反饋定位系(xi)統。其采用光學線性位置編碼器(qi)，在提供(gong)大(da)行(xing)程的(de)同時，使(shi)設備擁(yong)有較高(gao)的(de)精(jing)度。該(gai)系(xi)類評議臺可提供(gong)20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺。

4）亞(ya)微米分辨率(lv)電(dian)控(kong)位移臺

該系類位移平臺是指分辨率可達到(dao)亞微米精度(du)的精密(mi)運動系統。該系統也是光學編碼閉環控(kong)制(zhi)，精度(du)可達到(dao)50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等(deng)不同行程的電控(kong)位移(yi)臺，并可以根據需求組成二(er)維電控(kong)平移(yi)臺。

此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規格的電控平移臺，可承受的真空度可達到10^-4Pa，相當于10^-6 torr的真空度。

• 主要特(te)點

• 高分辨(bian)率
• 高重復定位精度(du)
• 采用滾珠絲杠，實(shi)現高精度定位
• 采用(yong)高(gao)等級(ji)交叉滾珠(zhu)導軌，具有(you)超高(gao)運動性能(neng)
• 可提供真空(kong)(kong)同規格的真空(kong)(kong)版本平(ping)移(yi)臺

• 主要應用

超(chao)精密激光加工、超(chao)精密三維掃描測(ce)量、全自動計量儀(yi)器檢測(ce)設備(bei)、工業自動化等(deng)領域(yu)。

• 主要參數：

亞(ya)微米(mi)精度電控位移(yi)臺參數：