納米精度電動升降臺.

納米精度，大行程電控升降臺(tai)！

所屬類別：光機產品/精密定位控(kong)制系統 » 電動平移臺

技(ji)術服務人員(yuan)：李工(gong)(William)

納米精度電動升降臺.

電(dian)控位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)臺也(ye)稱(cheng)為電(dian)控平移(yi)(yi)(yi)臺是一種依靠步進電(dian)機(ji)驅動的(de)執行(xing)裝置，通過(guo)絲杠將步進電(dian)機(ji)的(de)角位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)換為平臺位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)。通常情況下該系(xi)統(tong)由三(san)部分組(zu)成：位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)臺、電(dian)機(ji)和控制器。驅動電(dian)機(ji)及控制器主要(yao)(yao)決定(ding)驅動扭矩、分辨率、加(jia)減(jian)速度、信號處理等性能參(can)數。位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)臺則是系(xi)統(tong)的(de)心臟，主要(yao)(yao)指標(biao)參(can)數有位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)精度、行(xing)程、負載(zai)、穩(wen)定(ding)性、適用環境等。

上海昊量光電設(she)備(bei)有(you)限公司推出的(de)電動(dong)升降臺傳動(dong)螺桿采用(yong)滾(gun)珠絲杠實現高(gao)速平穩運動(dong)，*的(de)螺桿品質使平移臺擁(yong)有(you)的(de)分辨率、定位(wei)精(jing)度。采用(yong)超高(gao)等(deng)級交叉滾(gun)珠導(dao)軌+LM滑軌(gui)，在確保了升降臺，具有超(chao)高的運動性能。該系(xi)統(tong)采用光柵尺閉環控制(zhi)，在確保大(da)行(xing)程的同時，分(fen)辨率達(da)到了10nm。按照定位精度(du)區分，我司電動升降臺可分為 10納(na)米精度位(wei)移(yi)臺(tai)和亞微米精度位(wei)移(yi)臺(tai)兩種(zhong)類型。

1）10nm精(jing)度電控升降臺

該系類(lei)電控位(wei)移臺是擁有(you)10nm分辨率的(de)閉環反饋定位(wei)系統。可以提(ti)供沿垂(chui)直方向的(de)精密移動與定位(wei)。其采(cai)用光學(xue)線性位(wei)置(zhi)編碼器，在提(ti)供大行程的(de)同時，使(shi)設(she)備(bei)擁有較高的(de)精度。該產品(pin)采(cai)用滾(gun)珠絲杠驅動和LM滑軌+交叉滾珠導軌導向(xiang)，確保了升降臺(tai)的(de)精度及線性(xing)度。目(mu)前該(gai)產品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移(yi)臺。

2）亞微米(mi)分辨率電控(kong)升降臺

該系類位移(yi)平(ping)臺(tai)是指分辨率(lv)可(ke)達到(dao)亞微米精(jing)度(du)的精(jing)密運動系統。該系統也是光學(xue)編碼閉環(huan)控制，精(jing)度(du)可(ke)達到(dao)50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺(tai)。

此外這(zhe)兩種版本的(de)升降臺可提供真空(kong)條件下使用的(de)版本，可適用的(de)的(de)真空(kong)條件為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。

• 主要特點(dian)

• 高分(fen)辨率
• 高重復定(ding)位精度
• 采用滾珠(zhu)絲(si)杠，實現高精度(du)定位
• 采(cai)用高等級交叉滾珠導軌，具有超高運(yun)動性(xing)能

u  主(zhu)要應用(yong)

超精密(mi)激光加工、超精密(mi)三維掃(sao)描測(ce)量、全自(zi)動計(ji)量儀器檢測(ce)設(she)備、工業自(zi)動化等領域。

• 主要參(can)數：

亞微米電(dian)控平(ping)移臺(tai)參數：

納米電控平移臺參數：