高(gao)精度(du)微型振鏡/壓電掃描鏡

AU-M3-RS微(wei)型振(zhen)鏡將微型壓電馬達、精密導向(xiang)系統、位移傳感器、微處理器集(ji)成到緊湊的(de)空間中，該模塊(kuai)擁有超小的(de)體積（直(zhi)徑<12mm），在緊湊的空間中(zhong)包含一個世界上(shang)zui小的壓電馬(ma)達和IC驅動，但卻可(ke)以(yi)提(ti)供(gong)更高的功率和(he)可(ke)靠(kao)性(xing)，精度比電磁電機高十(shi)倍。內(nei)置微處(chu)理器及(ji)PID控制器，無需(xu)外加控制器，只(zhi)需要通過標準的I2C 或(huo)者SPI接(jie)口輸入(ru)簡單的串行命令就可以驅動旋轉(zhuan)臺。內置位移傳感器(qi)，使(shi)微型振鏡的角分辨(bian)率達到0.025°。采用(yong)*的(de)自鎖(suo)設計，只有(you)在移動(dong)時才使用(yong)動(dong)力(li)，使其擁有(you)極(ji)低的(de)功耗。

壓電陶瓷電機微型振鏡(jing)、壓電(dian)陶瓷電(dian)機(ji)驅動微型振鏡、微機械(xie)微型振鏡(jing)(jing)，微型振鏡(jing)(jing)，MENS掃描(miao)鏡(jing)(jing)，微型掃描(miao)鏡(jing)(jing)

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

不需要(yao)外部(bu)控制器。該模塊將PID控制器集成到電路(lu)板上(shang)，只需(xu)要通(tong)過(guo)標準(zhun)的I2C 或者SPI接口(kou)輸入簡單的(de)串行命令就可以驅動(dong)該(gai)控(kong)制器(qi)。可以通過USB適配器連接電腦(nao)，直(zhi)接通(tong)過(guo)軟件(jian)控制聚焦模塊(kuai)的運動。操作簡單使用(yong)方便。

AU-M3-RS擁有以下幾(ji)種開發(fa)套件：

①光束控制和鏡(jing)面(mian)定(ding)位系統(tong)，該系統(tong)是一(yi)個完整的(de)光束控制系(xi)統。在緊(jin)湊的(de)體積（直徑(jing)12mm）中包含壓電馬達(da)、位(wei)置(zhi)(zhi)傳感器、軸承(cheng)以(yi)及內置(zhi)(zhi)控制器。在微型(xing)振鏡(jing)上安裝(zhuang)了一個鍍鋁膜(mo)的(de)鏡子，每秒可旋轉(zhuan)1100°，精度可達(da)到(dao)0.025°。點(dian)對點(dian)光束控制和動態掃(sao)描頻率(lv)可達100Hz。鏡子的偏轉角度可達到(dao)±20°采用*的自鎖設(she)計，只有在(zai)移動時才(cai)使(shi)用動力(li)，使(shi)其擁有極低(di)的功耗。輸入電壓只需要3.3V。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

單軸鏡面定位開發套(tao)件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）

雙軸光(guang)束控(kong)制系(xi)統（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）

②旋(xuan)轉定位平臺（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達、位置(zhi)(zhi)傳(chuan)感器、軸(zhou)承(cheng)以及內置(zhi)(zhi)控(kong)制器于一體(ti)的(de)(de)運動系統。但是其擁有超小的(de)(de)體(ti)積(ji)，只(zhi)有12（D）´12.5（H）。該系統可以提供連(lian)續的360°運動，并且擁有位置反饋系統，使其分(fen)辨率可達到0.025°。該微型振鏡只需(xu)要輸入3.3V的直流電(dian)壓，運(yun)動時耗能(neng)僅為500mW，因(yin)此(ci)可(ke)以(yi)用電(dian)池或(huo)者USB作(zuo)為電源，這非常利于手(shou)提和便(bian)攜式設備。

u  主要特點

• 成本低(di)
• 超小尺寸
• 低功耗(hao)
• 無外(wai)加控(kong)制器
• 高分辨率(lv)（0.0057°）

u  主(zhu)要應用

皮膚(fu)科(ke)激光、熒(ying)光顯微鏡和(he)成(cheng)像(xiang)儀器、體內和(he)體外的(de)微激光手術、3D打印(yin)、激光(guang)雷達、三維測量、遙感、防抖(dou)動設備、激光(guang)打標(biao)(biao)、激光(guang)雕(diao)刻、自由空間(jian)光(guang)通(tong)信、目標(biao)(biao)指示(shi)、目標(biao)(biao)探測、目標(biao)(biao)跟蹤等。

u  主要參數