單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納(na)米定位工作臺采用壓(ya)電陶瓷(ci)直(zhi)推(tui)驅動，以柔性鉸(jiao)鏈為運動副，使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點。全行程采用電(dian)容位(wei)移(yi)傳感器閉環反饋設計，精度可達到亞納米量級。結合數字(zi)閉環控制器，納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量(liang)級。

Nanopositioning Stages 亞納(na)(na)米定(ding)位(wei)(wei)(wei)工作臺(tai) 微(wei)定(ding)位(wei)(wei)(wei)工作臺(tai) 微(wei)動臺(tai) 壓電(dian)精密定(ding)位(wei)(wei)(wei)系統(tong)，納(na)(na)米平移(yi)臺(tai)，納(na)(na)米定(ding)位(wei)(wei)(wei)臺(tai)，納(na)(na)米掃描臺(tai)，壓電(dian)平移(yi)臺(tai)

單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位(wei)(wei)工(gong)(gong)作臺zui初的設計是(shi)為(wei)了滿足(zu)超(chao)快速度和(he)超(chao)精密的應用(yong)。納米定位(wei)(wei)工(gong)(gong)作臺采(cai)用(yong)壓(ya)電(dian)陶瓷(ci)直推驅(qu)動(dong)，以柔性鉸鏈為(wei)運動(dong)副，使其結構(gou)緊湊(cou)、擁有(you)小的體積、無(wu)摩擦、無(wu)間隙、定位(wei)(wei)分(fen)辨率(lv)高等(deng)優點。

全行程采用電(dian)容位移(yi)傳(chuan)感器閉(bi)環反饋控制系統(tong)設計，電(dian)容位移(yi)傳(chuan)感器是(shi)將位移(yi)變化(hua)轉換為(wei)電(dian)容電(dian)量(liang)信號的(de)變化(hua)。電(dian)容位移(yi)傳(chuan)感器簡單(dan)易(yi)用，而且(qie)擁有*的(de)精度，可達(da)到亞納米量(liang)級。結合(he)數字閉(bi)環控制器，納米定(ding)位工作臺的(de)響(xiang)應時間(jian)和穩定(ding)時間(jian)可達(da)到毫秒量(liang)級。低(di)的移動質量和高(gao)的剛度結合可以提供非(fei)常高(gao)的帶寬。

對于大行程的(de)納米定(ding)位(wei)臺，采用目前業內zui*的(de)雙傳感技術與以往(wang)相比可以提供更快的(de)(de)響應速度(du)，提高有效(xiao)載荷出現(xian)變化時的(de)(de)穩定(ding)性和(he)更高的(de)(de)帶寬。這(zhe)項突破性的(de)(de)技術(shu)能夠應用于各種(zhong)袖珍模擬和(he)數(shu)字控制器，其操作簡便(bian)，為用戶提供*性能。

公司的一(yi)維納米(mi)定位工作臺主要包含以下幾款產品：

①超緊湊型閉(bi)環亞納米微(wei)動(dong)臺

AU-NPS-X-5A是一款已推(tui)出市面上(shang)體積(ji)zui小的閉環(huan)一微亞納米級別(bie)的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長(chang)´寬´高）。應用電容位(wei)移傳感器，位(wei)移分辨率達到亞納米級(ji)別。空載下的(de)自振頻率更(geng)是高達8000HZ。采(cai)用鋁合(he)金材質，其擁有較輕的質量和(he)高(gao)(gao)的剛(gang)度，使其有高(gao)(gao)的帶(dai)寬(kuan)，在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級(ji)別。

②超快一維亞納(na)米定位平臺

AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米(mi)微動臺，用于高速的、超精密(mi)的應用。該設(she)備在空載(zai)下(xia)的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達(da)到8700HZ。并且該產品具(ju)有良好的(de)位置重(zhong)復性。擁有良好的(de)響應(ying)速度(du)，響應(ying)時間(jian)達(da)到毫秒量級。并且該款產品可按照不同(tong)需(xu)求進行工業定制。

③超(chao)大行程的一維(wei)納(na)米微動臺

AU-NPS-X-500A采用壓(ya)電(dian)陶瓷直推驅動(dong)，以柔性鉸(jiao)鏈為運動副，使其具有較緊湊的體積，使用電容傳感器，在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設計，可提供更快的階躍響應，提高有效載荷出現變化時的穩定性，并擁有更大的帶寬，使其擁有更快的響應時間。

④高負載大推力一維亞納米微動臺

AU-NPS-X-30B是一款高(gao)負(fu)載的(de)微動(dong)臺，zui高(gao)負(fu)載可高(gao)達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ。空(kong)載下的自振(zhen)頻率更是高達5000HZ。

除了以(yi)上(shang)幾款(kuan)產品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維(wei)微動臺也擁有優異(yi)的(de)性能。外(wai)加(jia)負載(zai)可高達5kg。擁有較高的帶寬，在50g負載的情(qing)況下，響應時(shi)間(jian)可達毫秒量級。AU-NPS-X-15D和(he)AU-NPS-X-15A屬于相同型號(hao)，但是(shi)具有更高(gao)的高(gao)度（15.5mm），因此(ci)擁有(you)更高的剛度(du)，因此(ci)具(ju)有(you)較寬的帶(dai)寬、較低(di)的穩(wen)定(ding)時間(jian)和較高的自(zi)振頻率。

u  主要(yao)特點

• 亞納米的分辨率

• 高的帶寬

• 高速響應(ying)

• 高的可靠性

• 結構(gou)緊湊(cou)

• 壓電陶瓷驅(qu)動(dong)

• 柔性(xing)鉸鏈(lian)設計(ji)

• 電(dian)容位(wei)移傳感(gan)器(qi)閉環反饋

u  主(zhu)要(yao)應用(yong)

  磁(ci)頭和磁(ci)盤驅(qu)動(dong)測試、計量學、干涉(she)度量學、原(yuan)子力顯微鏡等

u  產品(pin)主要參數