在線方塊電阻測試儀

EddyCus TF inline在(zai)線 方(fang)塊電(dian)阻測(ce)(ce)(ce)(ce)試儀可(ke)以(yi)(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)薄層的(de)(de)性能，如(ru)金屬(shu)層厚(hou)度(du)，薄層電(dian)阻，輻射系數，殘余水分或在(zai)各種(zhong)基材(cai)上的(de)(de)非接觸(chu)克重。相(xiang)關基材(cai)有玻璃、箔、紙、晶圓(yuan)片、塑(su)料或陶瓷。通過(guo)常駐測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)或觸(chu)發事件進行監測(ce)(ce)(ce)(ce)，以(yi)(yi)在(zai)快(kuai)速移動(dong)的(de)(de)涂層過(guo)程中獲得等距離的(de)(de)結果。檢測(ce)(ce)(ce)(ce)解決方(fang)案可(ke)以(yi)(yi)在(zai)大(da)氣或真(zhen)空條件下實施。基于電(dian)渦流技術的(de)(de)檢測(ce)(ce)(ce)(ce)過(guo)程高采樣率更高。可(ke)以(yi)(yi)使用(yong)客戶的(de)(de)軟(ruan)件為(wei)過(guo)程控(kong)制系統提供測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)結果。此外，SURAGUS還(huan)提供監控(kong)軟(ruan)件EddyCus EC Control，可(ke)視化、存儲(chu)和分析計量(liang)數據。

在線 方塊電阻測試儀產品優勢：

• 非(fei)接觸式實時測量

• 高測量速度高達1000次(ci)/秒。

• 傳感器(qi)固定安裝或傳感器(qi)橫貫安裝

• 每個系統集成1 - 99個監控通道

• 在大氣(qi)或(huo)真(zhen)空的過程控(kong)制

• 在(zai)許多應(ying)用中(zhong)，非常接近襯底邊緣的測量是可能的

• 在(zai)變化的(de)環境中通(tong)過溫(wen)度補償測量的(de)長(chang)期穩定(ding)性

• 與測(ce)試材料(liao)之間(jian)的距(ju)離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間(jian)隙)

• 覆蓋導電層或(huo)封(feng)裝襯底的表征

• 眾多(duo)軟件集成分析

在線 方塊電阻測試儀測量內容及范圍：

薄層電阻(zu): 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq

金屬厚(hou)度: 2 nm – 2 mm (根據材(cai)料電導率)

電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm

殘余水分(用非接(jie)觸式介電常數測(ce)量濕層)

電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)

關聯屬性

克重: 0.1 to 1,000 g/sqm

輻(fu)射系數(shu): 0.005 to 0.2

EddyCus TF非接觸式方塊(kuai)電阻在(zai)(zai)線(xian)監(jian)測(ce)系統可在(zai)(zai)生(sheng)產過(guo)程(cheng)中直接對方塊(kuai)電阻進行高速、非接觸式測(ce)量(liang)。典型的(de)工藝(yi)包括PVD, CVD，在(zai)(zai)晶圓，箔，紙，聚(ju)合物或(huo)其(qi)他基板(ban)上的(de)電沉(chen)積(ji)或(huo)常規沉(chen)積(ji)工藝(yi)。特別是(shi)這些工藝(yi)包括濺射、蒸(zheng)發、外(wai)延(yan)或(huo)電鍍工藝(yi)。此外(wai)，這也涉及噴涂，槽模涂層或(huo)電子印刷過(guo)程(cheng)。此外(wai)，片狀(zhuang)電阻增強過(guo)程(cheng)，如薄膜的(de)退(tui)火和摻雜或(huo)印刷電子產品的(de)燒結(jie)，受益于電氣完整性(xing)的(de)在(zai)(zai)線(xian)監(jian)測(ce)。氧化、蝕刻、拋光以及清洗和干(gan)燥(zao)過(guo)程(cheng)的(de)影響也是(shi)這種測(ce)試技術廣泛應用范圍的(de)一部分(fen)。薄片電阻值通常轉移(yi)到MES系統，以保證質(zhi)量(liang)，特別是(shi)過(guo)程(cheng)控制(zhi)。

在線方塊電阻測試儀規格指標：

更多詳情請聯系昊(hao)量(liang)光(guang)電(dian)/歡迎直接聯系昊(hao)量(liang)光(guang)電(dian)

關于昊量光電：

上海昊量(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)電設(she)(she)備(bei)(bei)有限公司是光(guang)(guang)(guang)電產(chan)品(pin)專業(ye)代理(li)商，產(chan)品(pin)包括(kuo)各類(lei)激(ji)光(guang)(guang)(guang)器、光(guang)(guang)(guang)電調制(zhi)器、光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)測量(liang)(liang)設(she)(she)備(bei)(bei)、光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)元件(jian)等(deng)，涉及應(ying)用(yong)涵蓋了(le)材料加(jia)工(gong)、光(guang)(guang)(guang)通訊、生物醫(yi)療(liao)、科(ke)學(xue)(xue)研(yan)究、國防、量(liang)(liang)子光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)、生物顯微、物聯傳感(gan)、激(ji)光(guang)(guang)(guang)制(zhi)造等(deng)；可為客(ke)戶提供完整(zheng)的設(she)(she)備(bei)(bei)安裝(zhuang)，培訓，硬件(jian)開發，軟件(jian)開發，系統(tong)集成等(deng)服務。