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DLP/DMD光刻照明光源

簡要描(miao)述:DLP/DMD光(guang)刻照明(ming)光(guang)源(yuan):昊量光(guang)電新推出LumiDLP光(guang)刻照明(ming)光(guang)源(yuan)通(tong)過大(da)面積提(ti)(ti)供(gong)高度均勻的通(tong)量密度為(wei)(wei)紫外DLP應(ying)用提(ti)(ti)供(gong)qian所wei有的速(su)度和(he)分(fen)辨率。模(mo)塊化(hua)設備(bei)結合了(le)密集(ji)封裝的UV-LED陣列(lie)成為(wei)(wei)一(yi)種高效、非成像采集(ji)光(guang)學設備(bei),集(ji)成了(le)遠心成像光(guang)學優化(hua)DLP芯片(pian)組。

  • 產品型(xing)號:
  • 廠商(shang)性(xing)質:代理商
  • 更新時間:2022-12-21
  • 訪  問  量(liang):1094
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昊量(liang)光(guang)(guang)電新推出LumiDLP光(guang)(guang)刻(ke)照明光(guang)(guang)源通(tong)過大面積(ji)提供高度(du)均勻的(de)通(tong)量(liang)密度(du)為紫外(wai)DLP應用提供qian所wei有的(de)速度(du)和分辨率(lv)。模塊化設備(bei)結合了密集封裝的(de)UV-LED陣(zhen)列成(cheng)為一(yi)種高效、非成(cheng)像采集光(guang)(guang)學設備(bei),集成(cheng)了遠心(xin)成(cheng)像光(guang)(guang)學優化DLP芯片組。

這款DMD光(guang)刻光(guang)源為基于DLP技術的具有(you)挑(tiao)戰(zhan)性的曝光(guang)應(ying)用(yong)提供出色的UV-LED照(zhao)明(ming)(ming)。特別是要求蕞高強(qiang)度和多波(bo)長(chang)光(guang)譜的設置非常適(shi)合。數值孔徑(jing)為0.2(光(guang)束角度±12°)和非常高的照(zhao)明(ming)(ming)均勻性、這些構成DLP-芯片(pian)曝光(guang)的wan美解(jie)決方案。

DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇(365nm、385nm、395nm、405nm)。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很(hen)好地替代基于單(dan)色激光二極管(例(li)如、LD405nm)的(de)照(zhao)明器(qi)。

LumiDLP光(guang)刻(ke)照明光(guang)源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計(ji)的、可(ke)以輕松集成到基于(yu)DMD的系統中。


DLP/DMD 光刻照明光源(yuan)產品亮點:

  • 專(zhuan)為DLP®9000和DLP®9500設計

  • 包括高(gao)性(xing)能LED驅動器(qi)、便于控制和(he)編程

  • 高強度性能(neng)能(neng)夠縮(suo)短/減少處理時間

  • 由于頻譜寬廣(guang)、可以(yi)使用多種類型的(de)抗蝕(shi)劑

  • 不會過時的無汞光源



DLP/DMD 光刻照明光源產品(pin)規格:

輻射輸出功率
  • DLP9500蕞高30W

  • DLP7000蕞高20W

波長配置
  • 365nm、385nm、395nm、405nm

  • Single and multi-wavelength setups available

光出口角
  • ±12°

  • 匹配(pei)DLP微鏡傾斜角度(du)

照明均勻性和DMD芯片溢位
  • >90%均勻性

  • >10%溢位

熱管理
  • 液體冷卻設置

  • 快速連(lian)接、無泄(xie)漏耦合(he)

  • 所需入口溫度≤25℃ <25°

使用壽命
  • >3000h

  • 模塊化、易于更換系統、蕞大限度減少停機時(shi)間

LED-驅動器
  • 每(mei)個(ge)通道0-3A、每(mei)個(ge)LED陣列18個(ge)通道

  • 恒流、可調光、脈寬調制(zhi)

外部接口
  • USB 2.0

  • 10/100Mbps以太網(wang)

  • RS-232 (TIA-232-F)

程序串行(USB)和遠程登錄(以太網)通信命令集
尺寸和重量
  • 照明器:27.5cm×8cm×8.5cm

  • 驅動器:23cm×29cm×4.5cm

重量
  • 照明器(qi):~1.5kg

  • 驅動器:~2kg




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