SID4-UV-HR波前傳感器(波前分析儀)

【SID4-UV-HR簡介(jie)】

隨著光(guang)(guang)(guang)波(bo)(bo)波(bo)(bo)前(qian)探(tan)測(ce)(ce)技術的(de)(de)發展，各種波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)應運而(er)生。從測(ce)(ce)量(liang)原(yuan)(yuan)理上(shang)可(ke)以分(fen)成兩類：一(yi)(yi)類是(shi)根據幾(ji)(ji)何(he)光(guang)(guang)(guang)學(xue)原(yuan)(yuan)理，測(ce)(ce)定(ding)波(bo)(bo)前(qian)幾(ji)(ji)何(he)像差或(huo)面(mian)(mian)型誤(wu)差，主要有(you)Shack－Hartmann 波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)，曲率傳感(gan)(gan)器(qi)和(he)Pyramid 波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)等；另(ling)一(yi)(yi)類是(shi)基于干(gan)涉測(ce)(ce)量(liang)原(yuan)(yuan)理，探(tan)測(ce)(ce)波(bo)(bo)前(qian)不同部分(fen)的(de)(de)干(gan)涉性，來獲(huo)取波(bo)(bo)前(qian)信息，主要有(you)剪(jian)切干(gan)涉儀波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)和(he)相位獲(huo)取傳感(gan)(gan)器(qi)等。剪(jian)切干(gan)涉儀波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)不需要精確的(de)(de)參考(kao)標準鏡;它(ta)們結構簡單，抗(kang)干(gan)擾能力(li)強，條紋穩定(ding)。它(ta)是(shi)測(ce)(ce)量(liang)光(guang)(guang)(guang)學(xue)元件(jian)和(he)光(guang)(guang)(guang)束(shu)波(bo)(bo)前(qian)質(zhi)量(liang)的(de)(de)一(yi)(yi)種很好的(de)(de)替(ti)代傳統干(gan)涉儀的(de)(de)方(fang)法。作為低可(ke)至波(bo)(bo)長250 nm的(de)(de)高分(fen)辨率波(bo)(bo)前(qian)傳感(gan)(gan)器(qi)，SID4-UV-HR非常適合(he)于紫(zi)外(wai)光(guang)(guang)(guang)學(xue)測(ce)(ce)量(liang)，包括用于光(guang)(guang)(guang)刻(ke)或(huo)半導體(ti)應用紫(zi)外(wai)激光(guang)(guang)(guang)表征，以及透鏡和(he)晶圓的(de)(de)表面(mian)(mian)面(mian)(mian)型檢(jian)測(ce)(ce)。

【關(guan)于Phasics】

Phasics是一(yi)家(jia)專(zhuan)注于高分辨率波前(qian)(qian)傳(chuan)感技(ji)術(shu)(shu)的法國公司(si)。Phasics公司(si)憑借其在(zai)測(ce)量方面的專(zhuan)業經(jing)驗與*的波前(qian)(qian)測(ce)量技(ji)術(shu)(shu)為客(ke)戶提供全面的高性能波前(qian)(qian)傳(chuan)感器(qi)。

一、 SID4-UV-HR波前傳感器(波前分析儀)主要特點

• 低至190nm波長(chang)感(gan)光靈(ling)敏

• 1  nm RMS高相(xiang)位靈(ling)敏度(du)

• 355 x 280超高相位取樣分(fen)辨率

二、SID4-UV-HR波前傳感器產品功能(neng)

• 波前像差測量

基于四波剪切技術，Phasics 的波前傳感器同時提供高分辨率的相位和強度測量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強度分布、激光光束質量參數（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學裝置的任何一點，無論光束是準直的還是發散的。作為低可至波長250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學測量，包括用于光刻或半導體應用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測。

三、SID4-UV-HR 波前傳感器應用領域

紫外光(guang)(guang)學(xue)測量(liang)| 光(guang)(guang)刻或半導體應用紫外激光(guang)(guang)表(biao)征| 透(tou)鏡和晶圓(yuan)的表(biao)面(mian)面(mian)型檢測| 自適應光(guang)(guang)學(xue)

四、SID4-UV-HR 波前傳感器主要規(gui)格

五、更多(duo)參數選型