六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高(gao)精(jing)度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采(cai)用了與傳統(tong)6自(zi)由度(du)(6-D)定位(wei)設備不同(tong)的(de)(de)方法(fa)，并以(yi)競爭(zheng)力的(de)(de)價格展(zhan)示(shi)了更高的(de)(de)性能(neng)。六(liu)軸(zhou)位(wei)移臺Hybrid Hexapod結(jie)合了精(jing)密XY單(dan)片工作臺、三(san)腳架和連續旋轉(zhuan)的(de)(de)Theta- Z軸(zhou)，而(er)不是6個獨立的(de)(de)腿(和12個連接接頭)，提供的(de)(de)整體性能(neng)。這使(shi)得傳統(tong)的(de)(de)六(liu)足(zu)位(wei)移臺運(yun)動學過時了，在精(jing)度(du)、路徑性能(neng)、速度(du)、剛度(du)和更大的(de)(de)工作范圍(wei)上都有了數量級的(de)(de)改進(jin)，幾乎可以(yi)無限的(de)(de)XY行程，*可編程的(de)(de)工具中心點位(wei)置。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有(you)(you)小(xiao)于100nm的三(san)維6軸點精度重復性，使其成(cheng)為激(ji)光(guang)加工、光(guang)學檢測、光(guang)子學、半導體、計量和醫療(liao)設備領域(yu)以及(ji)所有(you)(you)微加工項(xiang)目(mu)的關鍵任務應用的關鍵技術。

傳統的(de)(de)(de)(de)六(liu)(liu)(liu)足(zu)位(wei)移(yi)臺無法達到亞微米的(de)(de)(de)(de)精度，因為它們需要精確協調所(suo)有六(liu)(liu)(liu)個(ge)軸(zhou)的(de)(de)(de)(de)運(yun)(yun)動來完(wan)成一個(ge)運(yun)(yun)動輪廓(kuo)，即使這(zhe)個(ge)要求只(zhi)是一個(ge)簡單(dan)的(de)(de)(de)(de)單(dan)軸(zhou)運(yun)(yun)動。此外，盡管人們普(pu)遍認為六(liu)(liu)(liu)足(zu)位(wei)移(yi)臺比(bi)串(chuan)行堆疊的(de)(de)(de)(de)多軸(zhou)系(xi)統表現出良好的(de)(de)(de)(de)剛度，但(dan)這(zhe)實際上只(zhi)是在垂直的(de)(de)(de)(de)“Z"軸(zhou)上，在“XY"平面上存在弱點。

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高精度六軸位移臺/六足Hybrid Hexapod

迷你六軸位移(yi)MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭(tou)對準/粘接到ccd陣列的(de)(de)理想選擇(ze)。它在構建相(xiang)(xiang)機(ji)陣列模(mo)塊(kuai)、平移(yi)式(shi)OIS、用于手機(ji)相(xiang)(xiang)機(ji)和無人機(ji)等日常產(chan)品(pin)(pin)中的(de)(de)微(wei)型(xing)相(xiang)(xiang)機(ji)的(de)(de)望遠鏡集(ji)成鏡頭(tou)方面都很有(you)幫助。任何需(xu)要6度自由定位的(de)(de)納米/弧秒級增量運動和重復性的(de)(de)應用都非常適(shi)合(he)該產(chan)品(pin)(pin)，因(yin)為產(chan)品(pin)(pin)傳感器分辨率的(de)(de)提高(gao)(gao)推動了對更高(gao)(gao)精度的(de)(de)需(xu)求。

高精度六軸位移臺/六足Hybrid Hexapod

到目前為(wei)止，大角度(du)(du)六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度(du)(du)tip/tilt行(xing)(xing)程是市面(mian)上任何六自(zi)由度(du)(du)(6-DOF)定位器(qi)所能提(ti)供的zui大角度(du)(du)行(xing)(xing)程范圍。它(ta)非(fei)常(chang)適合(he)應用于非(fei)球面(mian)和(he)自(zi)由曲面(mian)光(guang)學(xue)(xue)計量(liang)(liang)，硅光(guang)子(zi)學(xue)(xue)封(feng)裝(zhuang)和(he)探測，激光(guang)微(wei)加工(gong)(非(fei)平面(mian)基(ji)片和(he)錐度(du)(du)控制)，晶圓計量(liang)(liang)，相機模(mo)塊對準和(he)裝(zhuang)配，傳感器(qi)/圖像穩定測試，以及(ji)光(guang)學(xue)(xue)元(yuan)件和(he)光(guang)纖對準。

大角度(du)六軸位(wei)移(yi)臺具有(you)精密(mi)交(jiao)叉滾子軸承導軌，光學增(zeng)量或(huo)絕對編碼器反饋(kui)在(zai)所有(you)軸，直線電機和(he)/或(huo)伺服滾珠(zhu)絲杠(gang)驅(qu)動(dong)器，無(wu)限可編程的工(gong)具中心點位(wei)置和(he)坐(zuo)標偏移(yi)，和(he)零后座力。它能(neng)夠無(wu)限XY位(wei)移(yi),Z軸位(wei)移(yi)在(zai)使用其它三(san)腳(jiao)架模式下62mm增(zeng)加到208mm，連續360度(du)Theta-Z下的60度(du)tip/tilt行程(+/- 30度(du))， XYZ雙向重復性小(xiao)于+/- 0.6角秒，速度(du)高(gao)達100mm/s  XY和(he)Z，小(xiao)于10nm的線性和(he)0.1弧秒的小(xiao)增(zeng)量角運動(dong)。

幾種定(ding)制化配置(zhi)：