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Mprobe 20 薄膜測量系統 (單點測量)

簡(jian)要描述:Mprobe 20 薄膜測量(liang)系(xi)統 (單(dan)點測量(liang))是一款桌面式(shi)單(dan)點薄膜厚度測量(liang)系(xi)統,只(zhi)需點擊鼠標薄膜厚度和折(zhe)射率(lv)測量(liang),測量(liang)厚度范圍1nm-1mm.

  • 產品型號:
  • 廠商(shang)性(xing)質:代理商
  • 更新時間:2021-08-14
  • 訪  問  量:1003
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應用領域環保,電子,航天靈敏度0.1-0.5 pT/√HZ

Mprobe 20 薄膜測量系統 (單點測量)



MProbe 20是一款桌面式單點薄膜厚度測量系統,只需點擊鼠標薄膜厚度和折射率測量,測量厚度范圍1nm-1mm,MProbe 20可對多層膜層進行測量。不同的MProbe 20配置主要由光譜儀的波長范圍和分辨率來區分,這又決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術基于光譜反射率,具有快速、可靠、無損等特點。在世界范圍內有成千上萬的應用。

Mprobe 20 薄膜測量系統 (單點測量)配置包括:

主單元(包括光譜儀、光源、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺,帶對焦鏡頭,可微調
光導纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件、USB適配器(授權密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發行、用戶指南等資料
根據型號和黑色吸收體的不同,校準裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜,視型號而定
USB或LAN線(用于連接主機和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)


核心(xin)指標:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測量100次)
精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
穩定性:< 0.02nm或0.2%(每天測量20天)
光斑大小:< 1毫米
樣本尺寸:>= 10mm
參見下面小冊子中MProbe 20薄膜厚度測量系統可用配置的詳細規格


選型列表:

MProbe 20 

波長范(fan)圍

厚度范(fan)圍(wei)

VIS

400nm -1100nm

10nm – 75 μm

UVVISSR

200nm -1100nm

1nm -75μm

VISHR

700nm-1700nm

1μm-400μm

NIR

900nm-1700nm

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -800nm

1nm – 5μm

UVVISNIR

200nm-1700nm

1nm -75μm

NIRHR

200nm -1100nm

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)


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