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皮米精度位移激光干涉儀

簡(jian)要描述:昊量光(guang)電推出的(de)(de)皮米(mi)精(jing)(jing)(jing)度位移(yi)干涉(she)(she)測量儀quDIS是對納(na)米(mi)級別(bie)的(de)(de)位移(yi)波(bo)動進行量測的(de)(de)理想儀器,基于其(qi)*的(de)(de)測量原理,相對距離的(de)(de)重復精(jing)(jing)(jing)度達到了50皮米(mi)。quDIS可(ke)同時支持三(san)個測量通道,使其(qi)可(ke)以適用(yong)于任(ren)意的(de)(de)多軸測量中。quDIS在原理上同樣采(cai)用(yong)激光(guang)干涉(she)(she)法,不過與傳統激光(guang)干涉(she)(she)儀相比,其(qi)集成了法珀(po)腔(Reference cavity)及飽(bao)和(he)吸收氣室(GC)作為頻率(lv)校(xiao)準(zhun)參考,通過皮米(mi)精(jing)(jing)(jing)度位移(yi)激光(guang)干涉(she)(she)儀

  • 產品型號:quDIS
  • 廠(chang)商性質:代理商
  • 更(geng)新時間:2021-07-12
  • 訪(fang)  問  量:1525
詳細介(jie)紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域電子

皮米精(jing)度位移激光干涉(she)儀

 昊量(liang)光電推出的皮米精度位移干涉測量(liang)儀quDIS是對納米級別的位(wei)移波動進行量測的理想(xiang)儀器,基于其*的測量原理,相對距離的重復精度達(da)到了(le)50皮(pi)米。quDIS可同時支持三個測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過激光波長調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現其它設備所不具有的絕對距離測(ce)量基于這種測量方式,使得quDIS相對其他產品測量距離可以達到20M的同時保持高精度,且與信號對比度和強度無關,由于使用整個干涉模式來提取位移信息,因此不存(cun)在(zai)非(fei)線性誤差此外,quDIS不僅可以獲得位置、速(su)度和加速(su)度等信(xin)(xin)(xin)息,折射率、反射率或表面傾斜度等信(xin)(xin)(xin)息也可以從實(shi)時信(xin)(xin)(xin)號中提(ti)取(qu)得到

 

 

 

皮米精度位移激光干涉儀產品特點:

  •  多(duo)維度多(duo)通道位移干涉器(qi),操作(zuo)簡單,即插即用

  •  相對(dui)距離(li)和(he)絕對(dui)距離(li)測量

  •  完善的全套(tao)系統(tong)配置

  •  實時(shi)輸出數字化圖像

  •  針(zhen)對不同應(ying)用(yong)提供各種傳感(gan)接頭及反射模塊組合解(jie)決方案

  •  長期使用保(bao)證穩定性

  •  兼容真(zhen)空與各種惡(e)劣環境

 

皮米精度位移激光干涉儀*優勢:

  •  絕(jue)對距離(li)高(gao)精度(du)測量!

  •  不存在非線(xian)性(xing)及周期性(xing)誤差!

  •  相對距離(li)信號穩定(ding)性<0.05nm!

  •  工作距(ju)離最大20m(與傳感頭相關)

  •  目標最大速(su)度1m/s

  •  三個傳感接口,可實現多(duo)設備同步

  •  探測器分辨率達(da)到(dao)1pm

 

皮米精度位移激光干涉儀應用領域:

  •   極限環(huan)境下振動分(fen)析

  •   緩慢漂移及(ji)熱膨脹檢測

  •   精密設備位置控制

  •   納米級位移測量

  •   層狀(zhuang)結(jie)構(gou)中(zhong)間隙和邊緣的測量

  •   位移和(he)振(zhen)動(dong)精度評估

     

皮米精度位置測量儀參數列表:

干涉儀傳感
光(guang)源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相對距離穩定(ding)性< 0.05nm
波長(chang)1535nm絕(jue)對距離精度<0.2nm/mm
線寬(kuan)<5MHz帶寬25kHz
傳(chuan)感器通道3工作(zuo)距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同(tong)步多臺(tai)設備同(tong)步低溫


 

 

 

 

 

 

 

 

 

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