品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應用領域 | 電子 |
皮米精(jing)度位移激光干涉(she)儀
昊量(liang)光電推出的皮米精度位移干涉測量(liang)儀quDIS是對納米級別的位(wei)移波動進行量測的理想(xiang)儀器,基于其*的測量原理,相對距離的重復精度達(da)到了(le)50皮(pi)米。quDIS可同時支持三個測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過激光波長調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現其它設備所不具有的絕對距離測(ce)量,基于這種測量方式,使得quDIS相對其他產品測量距離可以達到20M的同時保持高精度,且與信號對比度和強度無關,由于使用整個干涉模式來提取位移信息,因此不存(cun)在(zai)非(fei)線性誤差。此外,quDIS不僅可以獲得位置、速(su)度和加速(su)度等信(xin)(xin)(xin)息,折射率、反射率或表面傾斜度等信(xin)(xin)(xin)息也可以從實(shi)時信(xin)(xin)(xin)號中提(ti)取(qu)得到。
皮米精度位移激光干涉儀產品特點:
多(duo)維度多(duo)通道位移干涉器(qi),操作(zuo)簡單,即插即用
相對(dui)距離(li)和(he)絕對(dui)距離(li)測量
完善的全套(tao)系統(tong)配置
實時(shi)輸出數字化圖像
針(zhen)對不同應(ying)用(yong)提供各種傳感(gan)接頭及反射模塊組合解(jie)決方案
長期使用保(bao)證穩定性
兼容真(zhen)空與各種惡(e)劣環境
皮米精度位移激光干涉儀*優勢:
絕(jue)對距離(li)高(gao)精度(du)測量!
不存在非線(xian)性(xing)及周期性(xing)誤差!
相對距離(li)信號穩定(ding)性<0.05nm!
工作距(ju)離最大20m(與傳感頭相關)
目標最大速(su)度1m/s
三個傳感接口,可實現多(duo)設備同步
探測器分辨率達(da)到(dao)1pm
皮米精度位移激光干涉儀應用領域:
極限環(huan)境下振動分(fen)析
緩慢漂移及(ji)熱膨脹檢測
精密設備位置控制
納米級位移測量
層狀(zhuang)結(jie)構(gou)中(zhong)間隙和邊緣的測量
位移和(he)振(zhen)動(dong)精度評估
皮米精度位置測量儀參數列表:
干涉儀 | 傳感頭 | ||
光(guang)源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
功率 | <400uW | 相對距離穩定(ding)性 | < 0.05nm |
波長(chang) | 1535nm | 絕(jue)對距離精度 | <0.2nm/mm |
線寬(kuan) | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
傳(chuan)感器通道 | 3 | 工作(zuo)距離 | 0.1—20m |
光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標速度 | <1m/s |
Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
同(tong)步 | 多臺(tai)設備同(tong)步 | 低溫 |