白光干涉儀

Xper WLI 是(shi)一(yi)款用于對各種精(jing)(jing)密(mi)器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)及(ji)材料表面(mian)進(jin)行亞納米(mi)級測(ce)量(liang)的檢(jian)測(ce)儀器(qi)(qi)(qi)(qi)。它是(shi)以白光干涉(she)技(ji)術為(wei)原理(li)、結合(he)精(jing)(jing)密(mi)Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)表面(mian)進(jin)行非接觸式掃描并建立表面(mian)3D圖像(xiang)，通過(guo)系(xi)統軟件(jian)對器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)表面(mian)3D圖像(xiang)進(jin)行數據(ju)處理(li)與分析，并獲(huo)取反(fan)映器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)表面(mian)質量(liang)的2D、3D參數，從而實現器(qi)(qi)(qi)(qi)件(jian)表面(mian)形貌(mao)3D測(ce)量(liang)的光學檢(jian)測(ce)儀器(qi)(qi)(qi)(qi)。

優勢：

價格優勢：市場上性價比的白光干涉儀。

簡單易用：只需將(jiang)樣品(pin)放置于樣品(pin)臺(tai)上，即可直接進行測量；

可以測量非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)非(fei)(fei)平(ping)坦樣(yang)品：由于(yu)光(guang)學輪(lun)廓測量法是(shi)一種(zhong)非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)技術，可以輕松測量彎曲和其他非(fei)(fei)平(ping)面(mian)表面(mian)。還輕松地測量曲面(mian)的表面(mian)光(guang)潔度，紋理和粗糙(cao)度。除此之外，作(zuo)為一種(zhong)非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)方法光(guang)學輪(lun)廓儀不會像探(tan)針式(shi)輪(lun)廓儀那樣(yang)損壞柔軟的薄(bo)膜。

無(wu)需(xu)更(geng)(geng)換(huan)耗(hao)材：只需(xu)要一個(ge)LED光(guang)源，無(wu)需(xu)其(qi)他配件更(geng)(geng)換(huan)；

可(ke)視化3D功(gong)能：Xper WLI輪廓儀具有強大的(de)處理軟件，軟件除包括表面(mian)粗糙度(du)，形狀(zhuang)和臺階高度(du)的(de)測(ce)量外，還可(ke)以任(ren)意(yi)角(jiao)度(du)移(yi)動樣(yang)品(pin)量測(ce)三(san)維(wei)圖形，多角(jiao)度(du)分析樣(yang)品(pin)圖像。

應用領域：

納米尺度的厚度和(he)輪廓檢測

WLI和PSI模式(shi)轉換

工業應用：樣品和輪廓(kuo)檢測

樣品類(lei)型：半(ban)導(dao)體晶圓，納米器件，生物材(cai)料，MEMS:微(wei)電子(zi)機械(xie)系統，lED發光二(er)極管

規格

原理：白光干涉原理

用(yong)途：表面三維(wei)剖面測量，表面粗糙度測量

Z軸分辨率：1.75nm 

CCD 分(fen)辨率：2464*2056

掃描范圍：30 μm

物鏡(jing)：10X, 20X, 50X, 100X

照明：LED

PSI模式濾光片組件：532，633nm（可見光范圍：400-750nm） 

軟件(jian)功能：自(zi)動實驗(yan)條件(jian)設置

后(hou)期(qi)處(chu)理：平滑處(chu)理/ z軸控制因子設置(zhi)/偏移控制，X / Y軸輪廓提取

成像案例：

半導體器件

牙齒表面分析