| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子,航天,綜合 |
激光測振儀（可mapping）
通(tong)常，微(wei)機(ji)(ji)械系統應盡量避免機(ji)(ji)械振(zhen)動，因為(wei)振(zhen)動會導致(zhi)微(wei)結構精度降低，會增(zeng)加機(ji)(ji)械疲勞，從而導致(zhi)整(zheng)個系統的(de)故障。相反，對于傳(chuan)感(gan)器和揚聲器等設(she)備則依靠振(zhen)動來實現其功能，因此在需(xu)求的(de)頻率(lv)范(fan)圍(wei)內擁有良好的(de)響應對設(she)備性(xing)能很重要(yao)。
為了研究(jiu)微觀樣(yang)品(pin)在不(bu)同位(wei)置的(de)(de)(de)(de)振動，傳統(tong)(tong)設備通(tong)常(chang)在顯(xian)微系統(tong)(tong)中采用(yong)可見激光(guang)用(yong)振鏡掃描光(guang)束，雖然這(zhe)種方法(fa)擁有很高(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)橫向分(fen)(fen)(fen)辨率，但是(shi)由于(yu)顯(xian)微系統(tong)(tong)中視場范(fan)圍和分(fen)(fen)(fen)辨率成(cheng)(cheng)反比，所以(yi)幾毫米的(de)(de)(de)(de)樣(yang)品(pin)無法(fa)在高(gao)(gao)分(fen)(fen)(fen)辨率的(de)(de)(de)(de)情況下(xia)成(cheng)(cheng)像。由于(yu)目(mu)前(qian)MEMS市場的(de)(de)(de)(de)快速增長，對高(gao)(gao)成(cheng)(cheng)像分(fen)(fen)(fen)辨率的(de)(de)(de)(de)振動計的(de)(de)(de)(de)需求日益增加，此外由于(yu)MEMS通(tong)常(chang)是(shi)封(feng)裝好的(de)(de)(de)(de)產品(pin)，這(zhe)對傳統(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)振動測量系統(tong)(tong)具有的(de)(de)(de)(de)挑戰性。
為(wei)了解決滿(man)足日益增長的(de)(de)市場需求和(he)解決傳統振動(dong)(dong)計的(de)(de)問題，我(wo)們推出了高精度振動(dong)(dong)測量儀，該系統可實現百萬像(xiang)素(su)成(cheng)(cheng)像(xiang)，并在圖像(xiang)的(de)(de)每個像(xiang)素(su)都可以(yi)獲得圖像(xiang)信息。該系統采用新穎的(de)(de)集(ji)成(cheng)(cheng)邁克爾遜干涉儀的(de)(de)紅外物鏡與高精度位移臺結(jie)合(he)，因此成(cheng)(cheng)像(xiang)范圍只受平臺移動(dong)(dong)范圍的(de)(de)限(xian)制。
該(gai)設(she)備主要由控制器，探頭(tou)，振動臺等幾部(bu)分構成。
該設(she)備探頭(tou)部(bu)分主(zhu)要包含(han)集成了邁克(ke)爾(er)(er)遜干(gan)涉光(guang)路(lu)(lu)的紅外(wai)物(wu)鏡(jing)和三(san)維位移平臺(tai)(tai)組(zu)成，該物(wu)鏡(jing)安裝在三(san)維位移平臺(tai)(tai)，平臺(tai)(tai)可提(ti)供20mm的行程(cheng)，全行程(cheng)重復精度(du)可達(da)30nm。從而該測振儀的視野(ye)要遠(yuan)遠(yuan)大(da)于(yu)振鏡(jing)掃描(miao)范(fan)圍。物(wu)鏡(jing)結合(he)了微型邁克(ke)爾(er)(er)遜干(gan)涉儀和高分辨率成像光(guang)學，通過一(yi)個單模(mo)光(guang)纖耦(ou)合(he)到(dao)控(kong)制器中(zhong)。因(yin)(yin)為(wei)(wei)成像光(guang)路(lu)(lu)和邁克(ke)爾(er)(er)遜干(gan)涉儀為(wei)(wei)相同光(guang)路(lu)(lu)，因(yin)(yin)為(wei)(wei)設(she)備結構非常緊湊(cou)，橫向分辨率可達(da)2μm。
由(you)于(yu)探頭是通過單(dan)模光(guang)(guang)纖與控制器(qi)(qi)相連(lian)的(de)(de)(de)，因(yin)(yin)此(ci)該(gai)(gai)光(guang)(guang)纖與小(xiao)孔有相同的(de)(de)(de)功能和(he)成像光(guang)(guang)路組成了共(gong)聚焦(jiao)成像系(xi)(xi)統(tong)。因(yin)(yin)此(ci)只有在焦(jiao)平面反(fan)射(she)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)才會被探測到(dao)，通過光(guang)(guang)纖進入(ru)控制器(qi)(qi)。共(gong)焦(jiao)系(xi)(xi)統(tong)擁有很多優點(dian)，例(li)如(ru)，可以(yi)透過窗口(kou)，濾掉反(fan)射(she)層(ceng)對(dui)測試的(de)(de)(de)影響(xiang)；該(gai)(gai)系(xi)(xi)統(tong)使用(yong)的(de)(de)(de)是1550的(de)(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)，因(yin)(yin)此(ci)可以(yi)穿透對(dui)可見光(guang)(guang)不(bu)透明的(de)(de)(de)材料，例(li)如(ru)硅(gui)，可用(yong)于(yu)封裝在硅(gui)中(zhong)的(de)(de)(de)傳感器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)測量（如(ru)下圖所(suo)示）。
樣(yang)品(pin)(pin)(pin)的(de)振動(dong)可(ke)(ke)以(yi)由系統的(de)振動(dong)臺(tai)激勵也可(ke)(ke)以(yi)由電信(xin)(xin)號產生(sheng)，在(zai)(zai)圖像的(de)每個像素點都可(ke)(ke)獲得(de)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)的(de)振動(dong)信(xin)(xin)息，為了達到這個目的(de)，在(zai)(zai)物(wu)鏡的(de)前段裝有(you)微型邁克爾遜(xun)干涉儀(yi)，分束器將(jiang)光(guang)(guang)束分為參考光(guang)(guang)和(he)探(tan)測(ce)光(guang)(guang)，參考光(guang)(guang)通過固定的(de)鏡子(zi)返回，探(tan)測(ce)光(guang)(guang)則聚焦到樣(yang)品(pin)(pin)(pin)上。反射的(de)光(guang)(guang)束在(zai)(zai)分束器出(chu)發(fa)生(sheng)干涉并通過光(guang)(guang)纖傳輸到光(guang)(guang)電探(tan)測(ce)器上。當樣(yang)品(pin)(pin)(pin)沿軸(zhou)向有(you)位移(yi)時，光(guang)(guang)程將(jiang)會發(fa)生(sheng)變化(hua)，這將(jiang)導致干涉的(de)變化(hua)從而計算出(chu)位移(yi)的(de)變化(hua)。因(yin)此可(ke)(ke)以(yi)通過在(zai)(zai)頻域中繪(hui)制位移(yi)數據來(lai)分析振動(dong)也可(ke)(ke)以(yi)通過鎖相(xiang)放大器直接實時成(cheng)像。
激光測振儀（可mapping）產品參數：
Vibration Resolution in Single Point Mode [pm] | < 1 |
Vibration Resolution in Imaging Mode [nm] | 0.1 |
Frequency Range [MHz] | Up to 2.5 |
Optical Lateral Resolution [μm] | 2 ... 7 |
Working Distance [mm] | 1.5 ... 10 |
Maximum Image Size [mm] | 20 x 20 |
Minimum Pixel Size [μm] | 1 |
Maximum Number of Pixels | 1000 x 1000 |
Controller | 2 units of each 33 x 27 x 7.2 cm (W x L x H), combined weight 7.6 kg |
Scanning Stage | 5.5 x 11.0 x 7.5 cm (W x L x H), weight 0.25 kg |
Scanning Mount | Granite stone 15 x 20 x 4 cm (W x L x H) with stainless Steel post 2.5 x 15 cm (? x H), combined weight 4.3 kg |
Shaker Stage | Stainless Steel 8 x 1.5 cm (? x H), weight 0.5 kg |
APPLICATION NOTE:
1）解析超快快反鏡的動態響應（ACTUATED MIRROR）
2）懸臂梁性能表征
3）探究智能手機揚聲器非音諧振
4）透過硅封裝測量MEMS的振動
5）利用共聚焦測量窗口下懸梁振動性能
6）真空環境下測量懸梁真空
7）利用振動計測量超聲換能器
更多詳(xiang)情請聯(lian)系(xi)(xi)昊量光電/歡(huan)迎直接聯(lian)系(xi)(xi)昊量光電
關于昊量光電：
上海昊(hao)量光(guang)(guang)(guang)電設(she)(she)備有限公(gong)司是光(guang)(guang)(guang)電產品專業(ye)代理商，產品包括各類激光(guang)(guang)(guang)器、光(guang)(guang)(guang)電調制器、光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)測(ce)量設(she)(she)備、光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)元件(jian)(jian)等，涉及應用(yong)涵蓋(gai)了材(cai)料加工(gong)、光(guang)(guang)(guang)通訊、生物(wu)醫療、科學(xue)(xue)研究、國防、量子(zi)光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)、生物(wu)顯微(wei)、物(wu)聯傳感(gan)、激光(guang)(guang)(guang)制造等；可為(wei)客戶提(ti)供(gong)完整的設(she)(she)備安裝，培訓，硬件(jian)(jian)開(kai)發(fa)，軟件(jian)(jian)開(kai)發(fa)，系統集成等服務。
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