高精度位移測量儀-激光干涉儀

昊(hao)量(liang)(liang)光電推出的(de)PICOSCALE位(wei)移測(ce)量(liang)(liang)儀產(chan)品是基于激光干涉(she)方法設計的(de)非(fei)接觸式位(wei)移和(he)振動測(ce)量(liang)(liang)設備。因為不(bu)需(xu)要物(wu)(wu)理接觸，所以測(ce)量(liang)(liang)不(bu)會影響(xiang)物(wu)(wu)體。這尤(you)其(qi)適用于較小的(de)物(wu)(wu)體，它(ta)們的(de)動力學(xue)很容易受到傳(chuan)統測(ce)量(liang)(liang)探頭(tou)的(de)影響(xiang)。微位移測量儀廣泛應用(yong)(yong)于(yu)(yu)定(ding)(ding)位技術中，可以在pm分(fen)辨率下(xia)位移跟蹤定(ding)(ding)位。我(wo)們(men)提供可用(yong)(yong)于(yu)(yu)一(yi)般(ban)用(yong)(yong)途或優化特(te)定(ding)(ding)的(de)任務(wu)的(de)各種傳感頭，如(ru)角度或差(cha)分(fen)測量。此外，我(wo)們(men)提供用(yong)(yong)于(yu)(yu)真空、低溫或其他惡劣環境(jing)的(de)傳感器頭。由(you)于(yu)(yu)它(ta)們(men)的(de)緊湊性(xing)，它(ta)們(men)幾乎(hu)適用(yong)(yong)于(yu)(yu)所有的(de)設(she)置。

除了測量位(wei)移，位(wei)移測量激光干涉儀(yi)還可(ke)用于描述運(yun)動過(guo)程中的(de)動態性能(neng)。由于位(wei)置數(shu)據是在(zai)非常(chang)高的(de)帶寬下測量的(de)，因此(ci)可(ke)以實時準確地識別振動，并進行詳細的(de)振動模(mo)態分析(xi)。

基本原理：

所有(you)的(de)PICOSCALE高精度位移測量(liang)儀(yi)(yi)都基于(yu)(yu)邁克(ke)爾(er)遜干(gan)涉儀(yi)(yi)，這是一(yi)(yi)種測量(liang)位移和(he)振動(dong)的(de)精確方法。邁克(ke)爾(er)遜干(gan)涉儀(yi)(yi)由一(yi)(yi)個波長穩定激(ji)光(guang)器(qi)、一(yi)(yi)個分束(shu)器(qi)、一(yi)(yi)個目(mu)標(biao)(biao)和(he)一(yi)(yi)個參考鏡組(zu)成。在分束(shu)器(qi)上，來(lai)自(zi)激(ji)光(guang)的(de)光(guang)被分成兩支。一(yi)(yi)只手(shou)(shou)臂(bei)指(zhi)(zhi)向(xiang)目(mu)標(biao)(biao)表面(mian)(mian)，另一(yi)(yi)只手(shou)(shou)臂(bei)指(zhi)(zhi)向(xiang)參考鏡。當兩臂(bei)的(de)光(guang)分別被目(mu)標(biao)(biao)表面(mian)(mian)和(he)參考鏡反射后，再回到分束(shu)器(qi)。這里，兩條(tiao)手(shou)(shou)臂(bei)重(zhong)新組(zu)合，發生(sheng)了干(gan)涉。干(gan)涉信號包(bao)含(han)目(mu)標(biao)(biao)表面(mian)(mian)相(xiang)對于(yu)(yu)參考鏡的(de)位移信息(xi)。

高精度位移測量儀-激光干涉儀