| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,電子,交通,航天 |
多波(bo)長橢偏儀（僅需25萬！）
AUTFS1橢(tuo)偏(pian)儀是利用橢(tuo)圓(yuan)偏(pian)振(zhen)(zhen)的(de)方法對樣品進(jin)行光(guang)學表征。在(zai)該系統中由偏(pian)振(zhen)(zhen)態(tai)發生(sheng)器（PSG）發射已知偏(pian)振(zhen)(zhen)態(tai)的(de)光(guang)斜入射到樣品上(shang)，然后偏(pian)振(zhen)(zhen)態(tai)檢測器（PSD）檢測反射光(guang)的(de)偏(pian)振(zhen)(zhen)狀態(tai)。如下圖所(suo)示
由(you)樣品(pin)引起(qi)的發射(she)光(guang)(guang)偏(pian)(pian)振態的變(bian)化可(ke)以由(you)P偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)和S偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)的反(fan)射(she)率(lv)的比值決定(ding)。比值為復數(shu)，如(ru)下(xia)圖(tu)所示： 其中tan（Y）定(ding)義了(le)P偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)和S偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)反(fan)射(she)率(lv)比值的大小，D定(ding)義了(le)P偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)和S偏(pian)(pian)振光(guang)(guang)的相位(wei)差。
由于(yu)該(gai)方(fang)法測量(liang)的(de)是一個(ge)比值(zhi)，因此(ci)對光的(de)強度(du)的(de)變(bian)化，以及(ji)樣品缺陷造成的(de)散(san)射不敏感，并且在每個(ge)波長測量(liang)兩個(ge)參量(liang)可獲得(de)兩個(ge)常(chang)量(liang)例如：薄膜厚度(du)和(he)折射率，此(ci)外D對薄膜厚度(du)非常(chang)敏感，可以使薄膜厚度(du)測量(liang)精度(du)到0埃。
上海(hai)昊(hao)量(liang)光電推(tui)出的(de)多波長(chang)橢偏儀采(cai)用(yong)長(chang)壽命的(de)LED光源，可分別提供465nm、525nm、580nm和635nm四種不(bu)同波長(chang)，并使用(yong)無移動部件(jian)的(de)橢圓偏振檢(jian)測器，緊湊的(de)系(xi)統提供快速可靠的(de)薄膜測量(liang)。
通(tong)過1秒的測量可(ke)以精確(que)的測量0-1000nm的大多數透(tou)明薄膜的厚度。并可(ke)以獲得n和k等光(guang)學(xue)常(chang)量。
相比于(yu)單波長(chang)(chang)橢(tuo)(tuo)偏(pian)儀，多波長(chang)(chang)橢(tuo)(tuo)偏(pian)儀可測(ce)定薄膜厚(hou)度(du)(du)，對(dui)于(yu)透(tou)明薄膜測(ce)量厚(hou)度(du)(du)至少可達1μm，不(bu)存在(zai)厚(hou)度(du)(du)周期性問題；可確定樣品其它其它參數(shu)特性例如薄膜粗糙度(du)(du)、多層膜厚(hou)度(du)(du)等；對(dui)數(shu)據分析提供檢測(ce)依(yi)據，一個良(liang)好的分析模型應(ying)該適用于(yu)不(bu)同(tong)波長(chang)(chang)的數(shu)據；對(dui)于(yu)非常薄的薄膜（<20nm）多波長(chang)(chang)橢(tuo)(tuo)偏(pian)儀提供的數(shu)據信息量可以(yi)與光譜橢(tuo)(tuo)偏(pian)儀相媲美(mei)。
應用案例：
原位測量：
AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber
選配件：
1、聚焦選(xuan)項：將樣(yang)品上的光束(shu)縮小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm
2、聚焦束檢驗選項
3、自動成像系統(tong)
產品特點：
多波長
橢偏檢測(ce)器中無移動部件
優異的測量精度（優于0.001nm）
可原位測量
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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