品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 生物產業,電子,交通,航天 |
高低溫真空探針臺
高低溫真空探針臺概述
M5VC真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)探針臺(tai)可實現高(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)環境下的高(gao)溫(wen)(wen)及(ji)低(di)(di)溫(wen)(wen)電學性能測量,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)腔一體成(cheng)型,具有設(she)計合理,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)穩定,溫(wen)(wen)控精(jing)度(du)及(ji)機械精(jing)度(du)高(gao)等特(te)點;根據測試溫(wen)(wen)度(du)范圍不同(tong),可單選高(gao)溫(wen)(wen)或低(di)(di)溫(wen)(wen)等相(xiang)應組件(jian),溫(wen)(wen)度(du)可達(da)(da)到(dao)1000℃,低(di)(di)溫(wen)(wen)部(bu)分采用液(ye)氮或液(ye)氦冷(leng)卻(que)組件(jian),溫(wen)(wen)度(du)可低(di)(di)至77K/10K,;真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系統(tong)可選機械泵或分子泵系統(tong),真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)可達(da)(da)到(dao)10-3Torr或(huo)10-6Tor。
應(ying)用(yong)
可應用于(yu)低溫或高(gao)溫真空環境下被測樣(yang)品(pin)的電(dian)學性能測試分(fen)析,如:半導體/微(wei)(wei)電(dian)子,電(dian)子,機電(dian),物(wu)理(li),化學,材料,光(guang)電(dian),納米,微(wei)(wei)機電(dian)/MEMS,生(sheng)物(wu)芯(xin)片,航空航天等科學研究領(ling)域,以及IC設計/制造(zao)/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生(sheng)產制造(zao)領(ling)域。
技術參數
顯微(wei)鏡配(pei)置(zhi) 顯微(wei)鏡/視頻顯微(wei)鏡
顯(xian)微鏡 放大倍(bei)數50倍(bei)
視頻成(cheng)像配置 CCD成(cheng)像系統,放大倍數300倍
樣品臺(tai)尺寸80mm 漏電(dian)電(dian)流<10fA
真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或(huo)更高可(ke)選)
探針座配置 x/y/z行程(cheng)40mm 精度 1μm
探(tan)針(zhen)配置 尺寸 0.5X30mm 材質 金
溫(wen)度范(fan)圍 77K-570K 液(ye)氮制冷(leng) 10K-570K 液(ye)氦制冷(leng) 溫(wen)度可(ke)到(dao)1000K
觀察窗尺(chi)寸 100mm
真空系(xi)統 機械泵(beng)或分子泵(beng)
接口配置 三同軸
測試(shi)源表 連接各類測試(shi)源表,并可進行(xing)相應(ying)的軟件二次開發,加大系統(tong)整(zheng)合性(xing)及測試(shi)穩定性(xing)