大負載主(zhu)動氣浮桌腿型光學(xue)平臺隔(ge)振器

產品簡介

明立精機(ji)的MAPS 系(xi)列產品的除(chu)振(zhen)系(xi)統是在精巧的形狀中加入(ru)垂直與水平用的氣壓驅動(dong)器而構成的組(zu)裝(zhuang)型(xing)除(chu)振(zhen)裝(zhuang)置。使用1 組(zu)4 個(ge)的話，對應(ying)全自(zi)由度的振(zhen)動，能(neng)發揮出優秀的除(chu)振(zhen)性能(neng)、制(zhi)振(zhen)性能(neng)、定位性能(neng)等(deng)。

產品特點

1. MAPS 可以消除被動除振的困難(nan)頻段的振動

2. 標準的MAPS 可除振10 噸以(yi)上(shang)的設備

3. 搭載工件(jian)等移動裝置也(ye)不會搖擺(bai)

4. MAPS 具有優秀的精確(que)定(ding)位(wei)及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組(zu)合型系列(lie)

6. MAPS 是構成(cheng)精密設備(bei)的(de)一個重要部分

應用領域

半導體制造，激光加工等

主要規格和參數表