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可定制氣體軸承線性位移臺
大行程，高重復精度氣體(ti)軸(zhou)承位移臺！
所屬類別(bie)：光(guang)機(ji)產品/精密定位控制系統 » 電動平移臺
可定制氣體軸承線性位移臺
LT系(xi)列位移平(ping)(ping)臺采(cai)用經過特(te)(te)殊設計(ji)的(de)(de)空氣軸承，該軸承分(fen)別(bie)對(dui)剛度(du)、承載能力和(he)剛度(du)進(jin)行了優化。與傳統的(de)(de)軸承相比，采(cai)用氣體(ti)為潤滑(hua)(hua)劑，因(yin)此所有運動(dong)(dong)都是無接觸的(de)(de)，因(yin)此在(zai)整(zheng)個使用壽命之內，設備(bei)的(de)(de)性能保持(chi)不變，并(bing)且(qie)無需進(jin)行特(te)(te)殊維(wei)護。此外位移平(ping)(ping)臺采(cai)用直(zhi)線電(dian)機直(zhi)接驅動(dong)(dong)，無須(xu)螺桿或齒(chi)輪進(jin)行傳動(dong)(dong)實現(xian)了非常(chang)平(ping)(ping)滑(hua)(hua)的(de)(de)無干擾的(de)(de)高精度(du)的(de)(de)運動(dong)(dong)。通過使用天(tian)然大理(li)石為平(ping)(ping)移臺移動(dong)(dong)的(de)(de)桌面，可(ke)以實現(xian)非常(chang)高的(de)(de)重復定位精度(du)。從而使位移平(ping)(ping)臺擁有極低的(de)(de)俯仰(yang)、偏(pian)(pian)擺、滾動(dong)(dong)、偏(pian)(pian)航和(he)線性誤差(cha)。
上海昊(hao)量光電設備有限公司(si)推(tui)出的(de)(de)空氣軸(zhou)承位移(yi)平(ping)臺可提供從200mm-1500mm不同行(xing)程的(de)(de)平(ping)臺,在可提供大行(xing)程的(de)(de)同時，精度可達(da)到(dao)(dao)300nm，平(ping)移(yi)臺擁有優異的(de)(de)分辨率，重復精度可達(da)到(dao)(dao)100nm。
此(ci)外提(ti)供高精度的(de)復雜運動(dong)和(he)定(ding)位方案：
提(ti)供不(bu)同應用中需(xu)要的定位平臺、控制器(qi)和(he)相關軟件(jian)
Ø整(zheng)體解(jie)決方(fang)案
Ø定制化解決方案
Ø復雜的多軸與并聯運動系統
Ø超精密空氣與機械軸承
Ø軟件(jian)集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
產品特點：
l 優異的重復精度
l 超大行程
l 采用空氣軸承(cheng)，無需維護(hu)
l 可按客戶要(yao)求進行定制
主(zhu)要應(ying)用
l 高性能掃描
l 光(guang)學檢測系統
l 超精密研磨和切削
l 光伏系(xi)統
l 醫療(liao)系統
l 同步輻射(she)或X射(she)線
l 激(ji)光加工(gong)
l 半導體(ti)行業
l 晶(jing)體處理(li)
產品參(can)數：
Units | LS100 | LS200 | LS300 | LS400 | LS500 | LS1000 | LS1500 | |
travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 1000 | 1500 |
load capacity | kg | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 |
accuracy | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
repeatability | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 |
flatness | μm | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±3 | ±5 |
pitch | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
roll | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
yaw | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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