| 價格區間 | 面議 | 產品種類 | 電動 |
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納米精度電動升降臺
電(dian)(dian)控位(wei)(wei)(wei)移(yi)臺(tai)也(ye)稱為電(dian)(dian)控平移(yi)臺(tai)是一種依(yi)靠步進電(dian)(dian)機(ji)驅(qu)動的執行裝(zhuang)置，通過絲杠將步進電(dian)(dian)機(ji)的角(jiao)位(wei)(wei)(wei)移(yi)轉換為平臺(tai)位(wei)(wei)(wei)移(yi)。通常情況下該(gai)系統由三(san)部分(fen)組成：位(wei)(wei)(wei)移(yi)臺(tai)、電(dian)(dian)機(ji)和控制(zhi)器(qi)。驅(qu)動電(dian)(dian)機(ji)及控制(zhi)器(qi)主(zhu)要決(jue)定(ding)驅(qu)動扭(niu)矩、分(fen)辨率、加減速度、信號處(chu)理等性能參數。位(wei)(wei)(wei)移(yi)臺(tai)則是系統的心臟(zang)，主(zhu)要指標參數有位(wei)(wei)(wei)移(yi)精(jing)度、行程、負(fu)載、穩定(ding)性、適用環境等。
上海昊量光(guang)電設備有(you)(you)限(xian)公司推出的(de)電動(dong)(dong)升降臺傳動(dong)(dong)螺(luo)桿采(cai)用滾珠(zhu)絲杠實現高速平穩運動(dong)(dong)，*的(de)螺(luo)桿品質使(shi)平移臺擁有(you)(you)的(de)分辨率、定位精度(du)。采(cai)用超高等(deng)級交叉滾珠(zhu)導軌+LM滑軌，在(zai)確(que)保(bao)了(le)升降(jiang)臺，具有超高的(de)運(yun)動性能(neng)。該系(xi)統采用(yong)光(guang)柵(zha)尺閉(bi)環控(kong)制，在(zai)確(que)保(bao)大行程的(de)同(tong)時，分辨率達到了(le)10nm。按照定位精度區分，我司電(dian)動升降臺可分為 10納米精度位移(yi)(yi)臺(tai)和亞微米精度位移(yi)(yi)臺(tai)兩種類型。
1）10nm精度(du)電控升(sheng)降臺
該系類電控位(wei)移臺(tai)是擁有(you)10nm分辨(bian)率的閉環反(fan)饋定位系(xi)統(tong)。可以提供沿垂直方向(xiang)的精密移動與(yu)定位。其采(cai)用光學線性(xing)位置編碼器，在(zai)提供大(da)行程的同時，使設備擁有較高的精度。該(gai)產品采(cai)用滾(gun)珠絲杠驅動和LM滑軌+交叉滾珠導軌導向，確(que)保(bao)了(le)升降(jiang)臺的(de)精度及線性度。目前(qian)該產品提供(gong)5mm和10mm兩(liang)種不同(tong)行(xing)程的電(dian)控位移臺(tai)。
2）亞微米(mi)分辨率電(dian)控升(sheng)降(jiang)臺(tai)
該(gai)系(xi)類位(wei)移(yi)平臺是(shi)指分(fen)辨率(lv)可達到(dao)亞微米精(jing)度的精(jing)密運動系(xi)統。該(gai)系(xi)統也是(shi)光(guang)學編碼閉環(huan)控(kong)制，精(jing)度可達到(dao)50-100nm，可(ke)提供5mm和10mm不同行程的電(dian)控位移臺。
此外這兩種(zhong)版(ban)(ban)本(ben)的升(sheng)降(jiang)臺可提供真(zhen)空(kong)條件(jian)下使用的版(ban)(ban)本(ben)，可適用的的真(zhen)空(kong)條件(jian)為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。
納米精度電動升降臺主要(yao)特(te)點
- 高分辨(bian)率
- 高重復定(ding)位精度(du)
- 采用(yong)滾珠絲杠，實現高精度定位(wei)
- 采用(yong)高等級交叉滾珠導(dao)軌，具有(you)超高運動(dong)性(xing)能
u 主要(yao)應用
超精(jing)密激(ji)光加(jia)工(gong)、超精(jing)密三維掃描測量、全自(zi)動計量儀器檢測設備、工(gong)業自(zi)動化等領(ling)域。
主要參數(shu)：
亞微米電控平移臺參數(shu)：
型(xing)號 | 行(xing)程(cheng)（mm） | 大負載(zai)(N) | 分(fen)辨率(nm) | 重復定位(wei)精度(du)(nm) | 大移動速度(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
AU-FS-1005Z | 5 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
AU-FS-1010Z | 10 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
納米(mi)電控平移(yi)臺(tai)參數(shu)：
型(xing)號 | 行(xing)程（mm） | 大負載(N) | 分辨率(nm) | 重復定(ding)位精度(nm) | 大移動速(su)度(mm/s) |
AU-FS-1005PZ | 5 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
AU-FS-1010PZ | 10 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
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