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大載重量二維壓(ya)電平移臺
上海昊(hao)量光電設備(bei)有限公司推(tui)出的(de)二維(wei)平(ping)移臺主要(yao)是為(wei)在(zai)計(ji)量學中樣品的(de)精(jing)確操控和顯微(wei)鏡等應用而設計(ji)的(de)。推(tui)出的(de)二維(wei)平(ping)移臺主要(yao)分為(wei)以下(xia)兩(liang)種。
1). 緊湊型二維壓(ya)電馬達平移(yi)臺AUXY-XLS
AUXY-XLS由兩個AU-XLS平移臺組成(cheng)，而且不需要額外的(de)(de)適配板。因為其由兩個AU-XLS一維位(wei)移平臺組成(cheng)，該位(wei)移臺采(cai)用(yong)無(wu)聲的(de)(de)超聲馬達，在提供大(da)的(de)(de)行程(cheng)的(de)(de)同時擁有較高的(de)(de)精(jing)度。該平臺使用(yong)壽命長(chang)、快速（400mm/s）、無(wu)噪聲、斷電自鎖等特(te)點。
2).大推力二維(wei)壓(ya)電(dian)平移(yi)臺AUXY-XSS
AUXY-XSS掃描臺(tai)是(shi)對高精度和(he)(he)高重(zhong)復性要(yao)(yao)求(qiu)的大(da)載重(zhong)量(liang)顯微(wei)鏡和(he)(he)計量(liang)應(ying)用設(she)計的。該(gai)平(ping)(ping)臺(tai)在載重(zhong)量(liang)超過(guo)20kg時(shi)仍可(ke)提供亞微(wei)米的精度和(he)(he)高的穩定性。該(gai)位移(yi)臺(tai)由壓電促動器和(he)(he)光學(xue)編碼(ma)器組成，當(dang)您需要(yao)(yao)移(yi)動大(da)的部件并(bing)(bing)要(yao)(yao)求(qiu)納米級的精度和(he)(he)超低的穩定時(shi)間時(shi)，AUXY-XSS是(shi)該(gai)要(yao)(yao)求(qiu)的*解決(jue)方案，并(bing)(bing)且該(gai)款平(ping)(ping)移(yi)臺(tai)可(ke)以根據(ju)客戶的要(yao)(yao)求(qiu)進行定制。
主要(yao)特點
l 大行(xing)程(cheng) （92mm）
l 大(da)載(zai)重量（20kg）
l 高精度（78nm）
l 高(gao)速(su)度(du)（400mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁(ci)環(huan)境
主(zhu)要應(ying)用
l 光電子學(xue)
l 掃描電子顯微鏡(jing)
l 半導體(ti)生產
l 醫學(xue)(xue)和材料科學(xue)(xue)
l 生(sheng)命(ming)科學與(yu)生(sheng)物技術學
l 顯微鏡和計量學
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