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產地類別 | 國產 |
高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
400X300高分(fen)辨率、500um高動態范圍、高性價比、同(tong)時檢測波前與M^2波(bo)前傳感器(qi)!
關鍵詞:波前傳感器、波前分析儀、波前像差儀、傳感器、波前測試儀、波前探測器、激光波前分析儀、哈特曼波前分析儀、虹(hong)膜定位(wei)、哈(ha)特曼波(bo)前傳感器、波(bo)前象差(cha)、高分辨率(lv)波(bo)前分析儀(yi)(yi)、波(bo)前測量(liang)儀(yi)(yi)、激光光束及波(bo)前分析儀(yi)(yi)、夏克 哈特曼(man)、鏡頭MTF
公司自主研發的波前傳感器是基于四波橫向剪切干涉技術。SID4系列波前分析儀相較傳統的夏克-哈特曼波前探測器具有高分辨率、消色差、高靈敏度、高動態檢測范圍、操作簡便等*的優勢。為波前像差、波前畸變的檢測以及激光光束及波前的測量、分析,眼科虹膜定位波前像差引導等提供了全新的解決方案!波前探測(ce)器配套的軟件界(jie)面(mian)友好,可直(zhi)觀的輸(shu)出高(gao)分辨率相位(wei)圖(tu)(tu)和(he)光(guang)束(shu)強(qiang)度分布圖(tu)(tu)。
高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
波前傳(chuan)感器生產(chan)廠(chang)家具有(you)雄厚的技術研(yan)發實力,能為客(ke)戶(hu)提(ti)供的各種自適(shi)應光學系統OA-SYS(Adaptive Optics Loops),制(zhi)定個性(xing)化解決方案。可(ke)根據客戶的應(ying)用需求,為(wei)客戶推薦zui合適的SID4波前傳感器、可變形鏡或空間光調制器、自適應光學系統操作軟件等。
圖(tu)1 波前校正前與(yu)校正后對比
波前探測器依據其四波橫向剪切干涉技術,對哈特曼掩模技術進行了大的升級、改進。波前傳感器將400X300的超高分辨率(lv)和(he)500um的超大動態范圍*結(jie)合在了(le)一起。可以(yi)滿足不同的客戶的應用需求,可對(dui)激光(guang)光(guang)束進行光(guang)強、位相、PSF(點擴散函數(shu))、MTF(調制傳(chuan)遞函(han)數)、OTF(光學傳遞函數)、波前像差、M^2等(deng)進行實時、簡便(bian)、快(kuai)速(su)的測量。
*部 產品介紹
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感(gan)器
公司將(jiang) SID4的波(bo)前(qian)測(ce)量波(bo)長(chang)范圍擴(kuo)展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款(kuan)適用于紫外波(bo)段(duan)的高分(fen)辨率(lv)波(bo)前(qian)傳感器(qi),非常適用于光學元件測量(例如印刷、半導(dao)(dao)體(ti)等等)和表面(mian)檢測(半導(dao)(dao)體(ti)晶片(pian)檢測等)。
特點(dian):
u 高(gao)分辨率(250x250)
u 通光孔徑大(8.0mmx8.0mm)
u 覆蓋紫外光譜
u 靈敏(min)度高(gao)(0.5um)
u 優化信噪比
圖(tu)2 SID4-UV波前(qian)分析(xi)儀
SID4 波(bo)前傳感(gan)器
可用于400nm-1000nm 的激(ji)光(guang)的波前(qian)(qian)位相、強度分布,波前(qian)(qian)像差(cha),激(ji)光(guang)的M2,澤尼克參數(shu)等進(jin)行實時的測量(liang)及參數(shu)輸出。
特點:
Ø 波長(chang)范圍:400-1100nm
Ø 分(fen)辨率高(160x120)
Ø 消色差
Ø 測量穩(wen)定性(xing)高
Ø 對震動不敏感
Ø 操作(zuo)簡單
Ø 結構緊湊(cou),體積小
Ø 可用筆記本電(dian)腦(nao)控制(zhi)
圖(tu)3 SID4位(wei)相檢測
可用于檢測各種透鏡,光學系統的檢測,可以對透鏡、光學系統的進行實時的PSF(點擴散(san)函數)、MTF(調制傳(chuan)遞(di)函(han)數(shu))、OTF(光學傳遞函數)、波前像差測量及參數輸出。相對于傳統的透鏡檢測設備像:傳函儀、干涉儀,具有操作簡便,測量精度高,參數輸出方便等優點,正在被越來越多的客戶推崇。
特(te)點:
u 波(bo)長范圍(wei):400-1100nm
u 高性能的相機,信噪比高
u 實時測量,立即給出(chu)整(zheng)個物(wu)體表面的信息(120000個測量(liang)點)
u 曝光(guang)時(shi)間(jian)極短,保證(zheng)動態物體(ti)測量(liang)
u 操作簡單(dan)
圖4 SID4-HR
圖5 SID4-HR傳遞函數檢(jian)測
SID4 NIR 波(bo)前分析(xi)儀(yi)
主要針對(dui)1550 nm(1.5um-1.6um)激(ji)光的檢測,具有(you)分辨率(lv)高(gao)高靈敏度、高動態范圍、操作簡便等*的優勢。可用于光學測量,SID4 NIR是測(ce)量(liang)紅(hong)外(wai)物(wu)體和(he)紅(hong)外(wai)透鏡像差、PSF、MTF和焦距及表面質量(liang)的理(li)想工(gong)具。
特點:
² 高分辨(bian)率(160x120)
² 快(kuai)速測量
² 性(xing)價(jia)比(bi)高
² 測(ce)量
² 對振動不敏感(gan)
圖6 SID4 NIR激光波前檢測
SID4 DWIR 波(bo)前(qian)儀
具有寬波段測量的特點。可以實時(shi)的檢測3-5um和8-14um的(de)(de)波前位相(xiang),強度分布等響應的(de)(de)波前信(xin)息。可以很(hen)好(hao)的(de)(de)滿足紅外波段(duan)客(ke)戶的(de)(de)波前檢測需(xu)求(qiu)。
特點:
u 光學(xue)測量(liang):SID4 DWIR是測量紅(hong)外物體特性(xing)(熱成(cheng)像(xiang)和安全視覺)或紅(hong)外透鏡(jing)(CO2激光器)的理想(xiang)工具,輸出結果包括MTF,PSF,像差,表面質(zhi)量和透鏡焦距。
u 光(guang)束(shu)測量:(CO2激光器(qi),紅外OPO激光光源(yuan)等(deng)(deng)等(deng)(deng))SID4 DWIR提供詳(xiang)盡的光束(shu)特性參(can)數(shu):像(xiang)差,M2,光強分(fen)布,光束特性等
u 高分辨率(96x72)
u 可實現測量(liang)
u 可覆蓋中紅(hong)外(wai)(wai)和遠紅(hong)外(wai)(wai)波(bo)段 大數值孔徑測量,無需(xu)額(e)外(wai)(wai)中轉透鏡
u 快速測量 對振動不(bu)敏感
u 可實現(xian)離(li)軸測量
u 性價比高
圖7SID4 DWIR
SID4產品型號參數匯總
型(xing)號 | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔徑(jing)尺寸(mm2) | 3.6 x4.8 | 8.9 x11.8 | 8.0 x8.0 | 3.6x4.8 | 13.44x10.08 | 9.6x7.68 |
空間分辨(bian)率(um) | 29.6 | 29.6 | 32 | 29.6 | 140 | 120 |
測量點數 | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波長(chang)范圍 | 350-1100 nm | 350-1100 nm | 190-400 nm | 1.5-1.6µm | 3-5µm 8-14µm | 0.9- 1.7µm |
精準(zhun)度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
動(dong)態范圍 | >100µm | >500µm | >200um | >100µm | / | ~100µm |
采樣速(su)度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 60fps |
處理(li)速(su)度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
第二部 控制軟(ruan)件(jian)
SID4波前分(fen)析儀控制軟件
SID4波前分析儀控(kong)制軟件(jian)與SID4 波前(qian)傳感器(qi)配(pei)套提供(gong)的是一款完整的分(fen)析(xi)軟件(jian),其集(ji)成了高分(fen)辨率的相位圖(tu)與強(qiang)度(du)分(fen)布(bu)圖(tu),測量(liang)光強(qiang)分(fen)布(bu)和波前(qian)信息(xi)。
借助(zhu)Labview和C++ 可編程模(mo)塊數據(ju)庫(軟件二次(ci)開發工具(ju)包),客戶能夠根據(ju)自身的需要編寫各種相位測量與(yu)編譯模(mo)塊。
Adaptive Optics Loops將SID4 Wavefront Sensor結合您的(de)(de)(de)應用(yong),選(xuan)配合適(shi)的(de)(de)(de)可變形鏡或相位調制器(qi),提供整(zheng)套的(de)(de)(de)自(zi)適(shi)應光學系統(tong)。減小任何一個光學系統(tong)的(de)(de)(de)相差從來(lai)都不是簡(jian)單的(de)(de)(de),我們的(de)(de)(de)產品能為激(ji)光光束和成(cheng)像系統(tong)帶來(lai)更可靠,高精度的(de)(de)(de)解決方案。
圖8 SID4控(kong)制界面
SID4光學測量軟件Kaleo
基于剪(jian)切干涉(she)的波前傳感器與專門設計(ji)的光學測量軟件Kaleo結合(he),可以測量球面鏡(jing)和(he)非球面鏡(jing)的像(xiang)差(cha)及MTF等信息。只需要幾秒(miao)鐘,我們的(de)儀器為您(nin)呈現絕大部分的(de)光學(xue)參數(shu),如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系(xi)數,曲率半徑,PSF等。
第三部 與傳(chuan)統(tong)哈特曼波前(qian)分(fen)析(xi)儀比較
與(yu)傳(chuan)統(tong)哈特曼波前(qian)傳(chuan)感器測(ce)量結果對比:
技術(shu)參數對比:
| PHASICS | Shack-Hartmann | 區別(bie) |
技術 | 剪切干涉 | 微透鏡陣列 | PHASICS投放市(shi)場(chang)時(shi),已經申(shen)請技術(shu),是對夏(xia)克-哈特曼技術(shu)的(de)升級 |
重建方式 | 傅里葉(xie)變換 | 分區或(huo)模式法(fa) | 夏克-哈特曼(man)波(bo)前(qian)探測(ce)器(qi),局域(yu)(yu)導數以微透鏡單元區域(yu)(yu)的平均值來近似,誤差(cha)大 |
強(qiang)度 | 對強度變化不敏(min)感 | 對強度(du)變化(hua)靈敏 | PHASICS測量精度高,波前測量不依賴于強(qiang)度水平 |
校準 | 用針孔(kong)校準、方便快捷 | 安裝(zhuang)困難,需要精密的調節臺 | PHASICS使用方便 |
取(qu)樣點 | SID4-HR達300X400測量點 | 128X128測量點(多個微(wei)透鏡) | PHASICS具有更(geng)高的分辨率 |
數值孔徑 | NA:0.5 | NA:0.1 | PHASICS動態范圍更(geng)高 |
分辨(bian)率 | 29.6μm | 115μm | PHASICS具有更(geng)高(gao)的空間(jian)分(fen)辨率 |
測(ce)量精(jing)度 | 2nm RMS | 5nm RMS | PHASICS更好的測量精度 |
獲(huo)取頻率(lv) | 60fps | 30fps | PHASICS獲取速度快 |
處理頻率 | >10Hz | 30Hz | PHASICS可(ke)滿足大部分處理(li)要求 |
消色差 | 無需(xu)對每個波(bo)長進行校(xiao)準(zhun) | 需要在(zai)每個波長處校(xiao)正 | PHASICS更(geng)靈活(huo),可以(yi)測(ce)試寬波(bo)段,而不(bu)需(xu)要校準(zhun) |
第四部 應用(yong)領域
Ø 激光(guang)、天文(wen)、顯微、眼科(ke)等復(fu)雜自(zi)適(shi)應光學系統波前像差檢(jian)測
Ø 激光(guang)光(guang)束性能、波前像差、M^2、強度等的(de)檢測
Ø 紅外(wai)、近紅外(wai)探(tan)測
Ø 平行光管/望遠鏡(jing)系統的檢測與裝(zhuang)調
Ø 衛星遙感(gan)成像(xiang)(xiang)、生物成像(xiang)(xiang)、熱(re)成像(xiang)(xiang)領域
Ø 球面、非球面光學元器(qi)件檢(jian)測 (平面, 球面, 透(tou)鏡(jing))
Ø 虹膜定位像差(cha)引導
Ø 大(da)口徑高精度光(guang)學元器(qi)件檢測
Ø 激光(guang)通信(xin)領域
Ø 航(hang)空航(hang)天領域