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磁光克爾(MOKE)效應測量系統
當(dang)一束線偏振(zhen)光(guang)照被磁(ci)(ci)(ci)性介質反射(she)后，反射(she)光(guang)的偏振(zhen)面相對(dui)于入射(she)光(guang)的偏振(zhen)面有一個小的角度偏轉（克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)旋轉角），這(zhe)一現象被稱為磁(ci)(ci)(ci)光(guang)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)。后來(lai)這(zhe)一效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)被用來(lai)材料磁(ci)(ci)(ci)特性的研(yan)究。磁(ci)(ci)(ci)光(guang)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)測量系統(tong)就是一套精(jing)(jing)確(que)(que)測量克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)旋轉角的設(she)備(bei)。磁(ci)(ci)(ci)光(guang)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)測量系統(tong)是對(dui)極向(xiang)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)和(he)縱向(xiang)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)克(ke)(ke)(ke)爾(er)(er)偏轉角精(jing)(jing)確(que)(que)測量的設(she)備(bei)，使得該設(she)備(bei)成為(wei)研究磁(ci)性薄膜磁(ci)特性的(de)的(de)測量工(gong)具。廣泛的(de)應用(yong)于磁(ci)性納米(mi)技術(shu)、磁(ci)性薄膜等磁(ci)學(xue)領域。
磁(ci)光克(ke)爾(er)效應測(ce)量系統以(yi)激光作為光源(yuan)，由于樣品磁(ci)光克(ke)爾效(xiao)(xiao)應(ying)的(de)磁(ci)性信(xin)號主(zhu)要來自(zi)于光斑照(zhao)射的(de)區域，因此磁(ci)光克(ke)爾效(xiao)(xiao)應(ying)測量系(xi)統具有良好的(de)局(ju)域性，可(ke)以(yi)實(shi)現在微米區域內(nei)材料(liao)磁(ci)特性的(de)研(yan)究。此外以(yi)偏(pian)振激光束作為(wei)“探針”，因此對(dui)樣品不會造成任何損傷，實(shi)現對(dui)樣品的(de)無損測量，這對(dui)于需(xu)要做(zuo)多次(ci)測量的(de)樣品是非常有利(li)的(de)。
磁光克(ke)爾效應測量(liang)系統(tong)具有*的靈敏度，對克爾旋轉角的探測(ce)精度可(ke)達到±0.001度。這(zhe)一點使該設備在磁性薄膜磁特性的研(yan)究中具有(you)重要的地位。利用鐵芯電磁特產生外加磁場，可以提供高達25KOe的外加磁場。
磁光克爾(MOKE)效應測量系統
磁光克爾效應測量系統、磁性測量系統、MOKE system、微米區域克爾磁光效應測量系統、磁滯回線測量裝置
上(shang)海(hai)昊量光電(dian)設備(bei)有(you)限公司的磁光克爾測(ce)量系統主要可分(fen)為以(yi)下三類：
① 極向(xiang)測量磁(ci)光克爾效應(ying)測量設備(bei)（MOKE磁(ci)滯回線(xian)測量系統）
代表產品是BH-810系列。BH-810CPC25WF12磁(ci)(ci)光(guang)克爾效(xiao)應(MOKE)測(ce)量設備是其中的(de)(de)一款，主(zhu)要是對12英寸的(de)(de)垂直(zhi)(zhi)磁(ci)(ci)記錄介(jie)質(zhi)磁(ci)(ci)特性的(de)(de)測(ce)量。可以精確(que)的(de)(de)探(tan)測(ce)分析(xi)每個探(tan)測(ce)點的(de)(de)磁(ci)(ci)滯回線，該(gai)產品應用408nm的(de)(de)固體激光(guang)器，光(guang)斑直(zhi)(zhi)徑為(wei)1mm，外加磁(ci)(ci)場可高達25KOe。
② 向測(ce)量磁(ci)(ci)光克(ke)爾效(xiao)應測(ce)量設備（MOKE磁(ci)(ci)滯回(hui)線(xian)測(ce)量系統）
代表產(chan)品(pin)BH-618系列(lie)。BH-618SK-CA12是一款(kuan)自動測(ce)量(liang)(liang)晶(jing)圓磁(ci)特性和各(ge)向(xiang)異性的(de)(de)磁(ci)光(guang)克爾測(ce)量(liang)(liang)系統。可以對12寸的(de)(de)晶(jing)圓進行多達400個不同點的(de)(de)磁(ci)滯回(hui)線(xian)的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)，并且(qie)探(tan)測(ce)結(jie)果(guo)以成像的(de)(de)形式顯示。
③ 微區(qu)域磁光(guang)克爾效(xiao)應測量(liang)系(xi)統(tong)（m-kerr system）（極向+縱向，MOKE磁滯(zhi)回線測量系統）
代表產品(pin)為BH-920系列。與前兩款產(chan)品相比， BH-920系列擁(yong)有(you)更(geng)小的激光光斑，可以對微米區域內的磁特性進行研究(jiu)。BH-P920-NH是可進行極向的微區域磁光克爾效應(ying)測量系統，該(gai)設備(bei)具有*的靈(ling)敏度可達到0.001°。與BH-P920-NH相比BH-PI920不(bu)但具(ju)(ju)相同的探測(ce)靈敏度并且(qie)兼具(ju)(ju)進(jin)行(xing)極向和縱向測(ce)量。
磁光克爾(MOKE)效應測量系統
u 主要特(te)點
- 高(gao)性能(neng)
- 成本低
- 高靈(ling)敏度（0.001°）
- 高穩定性
- 高外加磁(ci)場（25KOe）
u 主要應用
磁(ci)(ci)(ci)性(xing)納米技術(shu)、磁(ci)(ci)(ci)性(xing)薄膜，磁(ci)(ci)(ci)性(xing)材料等磁(ci)(ci)(ci)學領域
u 測(ce)量項(xiang)目
磁滯回線 | X軸(zhou)：外加磁場強度 H |
Y軸：克爾旋轉(zhuan)角 qk | |
通(tong)過磁(ci)滯(zhi)回線可獲得(de)的參數 | 矯頑力 Hc |
各向異性場(chang) Hk | |
內稟矯(jiao)頑力 Hn | |
飽和磁場強度 Hs | |
剩余磁化強度 qr | |
飽和磁化強度 qs |
u 產品(pin)主要參數：
產品型(xing)號(hao) 參(can)數 | BH-PI920系列 | BH-P920-NH | BH-PI920 | BH-810CPC25WF12 | BH-618SK-CA12 |
產品特點 | 微區域測量(liang)系統可滿足(zu)縱向(xiang)/極向(xiang)測量(liang) | 極(ji)向(xiang)微區域克爾測(ce)量裝置，具有(you)高靈(ling)敏(min)度 | 微區(qu)域測量系統可滿足縱(zong)向/極(ji)向測量，具有(you)較高的靈(ling)敏度 | 極向(xiang)磁光克爾效應(ying)測(ce)量，對(dui)PMR薄膜(mo)晶(jing)圓(yuan)的磁特性測量 | 縱向磁光克爾測量系統，可進(jin)行多點磁滯回線(xian)的(de)測量 |
激光(guang)光(guang)源(yuan) | 半導體(ti)(ti)激(ji)光器（405nm） |
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| 半導體(ti)激光器（408nm） | 半導體(ti)激光器（405nm） |
光斑直徑 | 縱向測量 約 5mm [1/e2] | 1-2mm | 2-3mm | 1mm | 1´2mm |
極向(xiang)測量 約 2mm [1/e2] | |||||
探(tan)測(ce)靈(ling)敏度 | ± 0.005° | ±0.001° | ±0.001° | ± 0.005° | ± 0.005° |
探測(ce)范(fan)圍 | ± 1° |
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外加磁場強度(du) | 極向磁(ci)體(ti) >±10kOe | >±10kOe | 極(ji)向(xiang)磁場 >±1.5T | >±25kOe | >±0.2T |
面內(nei)磁場 >±10kOe | 面內(nei)磁(ci)場 >±1T | ||||
可測樣品(pin)大(da)小(xiao) | 5´5´1tmm~10´10´1tmm |
| 5´5~10´10mm t：0.5~1mm | 12inch wafer | 12inch wafer |
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