一篇文(wen)章(zhang)看懂：什(shen)么(me)是SENIS集成3軸磁傳(chuan)感器？

為了測量電磁鐵和永  jiu磁鐵產生的從 10-6 到 102 T 的(de)(de)非均勻磁(ci)(ci)通密(mi)度，通常(chang)使用帶霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)探(tan)頭的(de)(de)特斯拉計(ji)。為(wei)了(le)同(tong)時測(ce)量磁(ci)(ci)通密(mi)度的(de)(de)三(san)個(ge)(ge)正交(jiao)分(fen)量，需要(yao)使用三(san)軸霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)探(tan)頭。根據目前(qian)傳(chuan)統(tong)的(de)(de)的(de)(de)技術水平，三(san)軸霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)探(tan)頭由三(san)個(ge)(ge)霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)板(ban)(ban)組成，這三(san)個(ge)(ge)霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)板(ban)(ban)分(fen)別位(wei)于一個(ge)(ge)小(xiao)立(li)方體的(de)(de)三(san)個(ge)(ge)相互正交(jiao)的(de)(de)面上(shang)。單個(ge)(ge)霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)板(ban)(ban)的(de)(de)尺寸及其定位(wei)公差(cha)嚴重限制了(le)可(ke)實現的(de)(de)空間分(fen)辨率和測(ce)量磁(ci)(ci)通密(mi)度矢量的(de)(de)角度精度。此(ci)外，連接(jie)霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)裝置的(de)(de)導線中(zhong)的(de)(de)電磁(ci)(ci)感(gan)應(ying)(ying)(ying)也限制了(le)這種霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)探(tan)頭的(de)(de)有用帶寬。此(ci)外，平面霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)(ying)通常(chang)會產(chan)生額外的(de)(de)誤(wu)差(cha)。在基(ji)于量子阱的(de)(de)霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)板(ban)(ban)中(zhong)，平面霍(huo)(huo)爾(er)(er)(er)(er)效(xiao)(xiao)應(ying)(ying)(ying)很弱，但問題(ti)依然存在。

為了(le)解決這個(ge)問題，在(zai)一個(ge)點上檢測(ce)三個(ge)方(fang)向(xiang)的磁(ci)(ci)性。SENIS開發(fa)了(le)一種劃(hua)時(shi)代的“集成3軸磁(ci)(ci)傳(chuan)感(gan)器"，使之成為可(ke)能(neng)。這就是“集成的三軸磁(ci)(ci)傳(chuan)感(gan)器"。 該傳(chuan)感(gan)器可(ke)以在(zai)所有情況下測(ce)量精確(que)的3D矢(shi)量，例(li)如永磁(ci)(ci)體(ti)的鄰近磁(ci)(ci)場、小線圈產(chan)生的磁(ci)(ci)場和時(shi)間變化(hua)，這在(zai)過去是不可(ke)能(neng)的。

圖1. 傳統的霍爾片3軸探頭(tou)（左）和SENIS集成3軸磁(ci)傳感器（右(you)）

一、 專(zhuan)li技術(shu)的(de)SENIS集成(cheng)3軸磁傳感器

二(er)、 SENIS集(ji)成三(san)軸磁傳(chuan)感器的(de)功能

除了磁傳感器外，集成的3軸磁傳感器還集成了偏置(zhi)電路(lu)和(he)放大器，以提高(gao)頻(pin)率特性和(he)抗噪性，甚至在寬度僅(jin)為 0.64 m 的單個芯片上集成了溫度傳感器，用于因(yin)溫度變化而進行靈敏度校正。

1.敏感區域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm

2.3個(ge)方向相對角度誤差在±0.1以內

3.頻率響應：高達25Khz（-3db）

4.溫度特(te)性±100ppm/°C

三(san)、 SENIS集成三(san)軸磁(ci)傳感(gan)器放大圖

四．SENIS集成三軸磁傳感器(qi)詳細信息

圖(tu)2. 磁(ci)(ci)性(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)內(nei)部有5個感(gan)磁(ci)(ci)區域。通(tong)過(guo)取BZ1和(he)BZ2的(de)平均值，虛擬地(di)求(qiu)出By傳(chuan)感(gan)器(qi)位(wei)置的(de)Bz磁(ci)(ci)場。同樣(yang)地(di)，通(tong)過(guo)取Bx1和(he)Bx2平均值來求(qiu)出By傳(chuan)感(gan)器(qi)位(wei)置的(de)Bx磁(ci)(ci)場，可在同一點上收集Bx、By、Bz。

五．搭(da)配SENIS集成三軸磁傳感器的(de)霍爾(er)探頭(tou)類型：

六．搭配(pei)SENIS集成三軸磁傳感器的(de)高斯計/特斯拉(la)計匯(hui)總類型：

SENIS數字特斯拉計/高斯計基(ji)于SENIS®的(de)(de)模(mo)(mo)擬磁場(chang)傳感器電子設(she)備，其頂部(bu)添加了數字模(mo)(mo)塊，具(ju)(ju)有顯示器，通信(xin)端口(kou)，數字數據(ju)校正等。SENTIS提供(gong)不(bu)同類型的(de)(de)特斯拉計(ji)，具(ju)(ju)有不(bu)同的(de)(de)磁性(xing)分辨率(lv)，精度(du)，f帶(dai)寬(kuan)，噪聲水平和(he)功能和(he)處理(li)選項（手持式(shi)，臺(tai)式(shi)，機架式(shi)）

3MH3特斯拉計，適用(yong)(yong)于工業和(he)實驗室(shi)應用(yong)(yong)，具(ju)有良好(hao)的精度，分辨(bian)率和(he)f帶寬

3MH6臺式特斯拉計，用于實驗室應用，具有(you)非常高的分(fen)辨率(lv)和精度以及良好的f帶寬(kuan)

3MTS 手持式特(te)斯(si)拉計，探頭支架堅固，精度高

1 軸、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 3NTA1，用于極低磁場

SENIS®已通過(guo)ISO 9001和ISO 22301（業務連續性管(guan)理）認證。我們的校準實驗室已通過(guo)ISO17025：2017認證。

上海昊量(liang)光電作為SENIS公司在中(zhong)國大(da)陸地(di)區主(zhu)要的代理商(shang)，為您提供專業的選型(xing)以及(ji)技術(shu)服務。

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