六軸位移臺參數解讀

六(liu)足運動平(ping)臺(tai)在運動控制領域(yu)有著悠久的(de)應用歷史，但近年(nian)來，傳統(tong)的(de)6自由度(du)(6-DOF)定(ding)位設備在面(mian)對行業對更高精度(du)、更高可重(zhong)復(fu)性(xing)和更好(hao)的(de)幾何性(xing)能(neng)的(de)需求時顯(xian)得有些(xie)不足。現對一些(xie)ALIO位移(yi)臺(tai)參數細節(jie)做一些(xie)解讀，以(yi)便您理解ALIO六(liu)自由度(du)位移(yi)臺(tai)對于(yu)傳統(tong)六(liu)足位移(yi)臺(tai)的(de)提升。

準(zhun)確度（accuracy）

準確(que)度(du)是指在特定三維空間(jian)中，實際位(wei)置與(yu)通(tong)過測(ce)量(liang)設備測(ce)量(liang)的(de)位(wei)置之間(jian)的(de)差異。對于(yu)測(ce)量(liang)設備而言，準確(que)度(du)受到反饋機制（如ALIO六軸(zhou)(zhou)位(wei)移臺的(de)光柵尺增(zeng)量(liang)編碼器）、驅(qu)動(dong)機構（如滾珠螺桿、導桿、線性電機）以及軸(zhou)(zhou)承路徑的(de)準確(que)性的(de)影響。

重復度(du)（Repeatability）

可重復(fu)性(xing)被(bei)定義為在相同(tong)條件下，系統(tong)重復(fu)地被(bei)命(ming)令到同(tong)一位置時所達到的位置范圍。單向可重復(fu)性(xing)通過(guo)從一個方向接近該(gai)點進行測量(liang)。雙向可重復(fu)性(xing)是(shi)測量(liang)系統(tong)能夠從兩個方向返回(hui)到該(gai)點的能力。

分辨率（Resolution）

分(fen)辨率被定義(yi)為系統的zui小可識別位移量(liang)。也分(fen)辨率由反饋裝(zhuang)置確定。

zui小步長（Minimum Incremental Step Size）

被(bei)定義為系(xi)統的(de)zui小可行(xing)移動量，也被(bei)稱為步(bu)進大小。

俯(fu)仰（Pitch）：

俯仰(yang)是圍繞水平平面上(shang)與行進方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)垂直(zhi)的(de)軸的(de)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)。如果所測(ce)量的(de)感(gan)興趣位置不位于(yu)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)中心(xin)，則俯仰(yang)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)會引起(qi)兩個維度(du)上(shang)的(de)阿貝誤(wu)差。對于(yu)X軸，俯仰(yang)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)會在X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)和Z方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)上(shang)引起(qi)阿貝誤(wu)差。對于(yu)Y軸，俯仰(yang)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)會在Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)和Z方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)上(shang)引起(qi)阿貝誤(wu)差。這些誤(wu)差的(de)大小可以(yi)通過將偏(pian)移距離(li)的(de)長度(du)乘以(yi)旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)角(jiao)度(du)的(de)正弦值和1減旋(xuan)轉(zhuan)(zhuan)角(jiao)度(du)的(de)余弦值來確定

橫(heng)滾（Roll）：

橫滾(gun)(gun)是圍繞與(yu)行進(jin)方(fang)向平行的(de)(de)水平平面上(shang)的(de)(de)軸(zhou)(zhou)進(jin)行的(de)(de)旋轉(zhuan)。如(ru)果所測量(liang)的(de)(de)感興趣(qu)位置(zhi)不位于(yu)旋轉(zhuan)中心(xin)，則(ze)橫滾(gun)(gun)旋轉(zhuan)會引起(qi)兩個維度上(shang)的(de)(de)阿貝誤(wu)差(cha)。對(dui)于(yu)X軸(zhou)(zhou)，橫滾(gun)(gun)旋轉(zhuan)會在Y方(fang)向和(he)(he)Z方(fang)向上(shang)引起(qi)阿貝誤(wu)差(cha)。對(dui)于(yu)Y軸(zhou)(zhou)，橫滾(gun)(gun)旋轉(zhuan)會在X方(fang)向和(he)(he)Z方(fang)向上(shang)引起(qi)阿貝誤(wu)差(cha)。這些誤(wu)差(cha)的(de)(de)大小可以(yi)(yi)通過將偏移距離的(de)(de)長度乘以(yi)(yi)旋轉(zhuan)角度的(de)(de)正弦值和(he)(he)余弦值來計算。

偏航（Yaw）：

偏(pian)航(hang)是圍繞與行進方(fang)向垂(chui)直的(de)垂(chui)直平面(mian)上(shang)的(de)軸(zhou)(zhou)進行的(de)旋轉，即Z軸(zhou)(zhou)。如果所(suo)測量的(de)感(gan)興趣位置(zhi)不(bu)位于(yu)旋轉中心，則(ze)偏(pian)航(hang)旋轉會引起兩個維度上(shang)的(de)阿(a)貝誤差。對于(yu)X軸(zhou)(zhou)或Y軸(zhou)(zhou)臺(tai)。

回程誤差(cha)（Backlash）：

回(hui)程誤差(cha)是由行進方向(xiang)(xiang)反(fan)(fan)(fan)(fan)轉引起的定位(wei)誤差(cha)。反(fan)(fan)(fan)(fan)向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)是在行進方向(xiang)(xiang)反(fan)(fan)(fan)(fan)轉時不(bu)會(hui)(hui)產生位(wei)置變化的指令運動部分。反(fan)(fan)(fan)(fan)向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)是由傳動系中元素之間的間隙(xi)(xi)引起的。隨著間隙(xi)(xi)的增加，產生運動所需(xu)的輸入量也(ye)會(hui)(hui)增加。間隙(xi)(xi)的增加導致反(fan)(fan)(fan)(fan)向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)誤差(cha)增加。反(fan)(fan)(fan)(fan)向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)也(ye)會(hui)(hui)影響雙向(xiang)(xiang)可重復(fu)性。ALIO位(wei)移臺從系統設計上避(bi)免萬(wan)向(xiang)(xiang)節消除了回(hui)程誤差(cha)，大(da)大(da)提升位(wei)移臺整體(ti)性能。

直線度（Straightness）：

直(zhi)線(xian)度(du)是(shi)指(zhi)在水平平面上，相對(dui)于(yu)行進方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)真(zhen)實(shi)行進線(xian)路的(de)(de)偏差(cha)。平整度(du)是(shi)指(zhi)在垂直(zhi)方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)上，相對(dui)于(yu)行進方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)的(de)(de)真(zhen)實(shi)行進線(xian)路的(de)(de)偏差(cha)。對(dui)于(yu)ALIO位移(yi)臺(tai)，直(zhi)線(xian)度(du)和平整度(du)參(can)數都與(yu)位移(yi)臺(tai)的(de)(de)安裝表面有關，請聯系昊量光電了(le)解詳情。

跳動（runout）:

跳動是旋轉機械系統的不準確性，特別是工具或軸(zhou)沒(mei)有wan 全與主軸(zhou)線一致(zhi)(zhi)地旋轉。例如(ru); 鉆孔時(shi)，由于鉆頭偏(pian)心旋轉（離軸(zhou)而不是成一直(zhi)線），跳動會(hui)導致(zhi)(zhi)孔大(da)于鉆頭的標稱(cheng)直(zhi)徑。對于軸(zhou)承(cheng)，跳動會(hui)導致(zhi)(zhi)機器振動并增加軸(zhou)承(cheng)負載。

跳動有兩種主要形式：

徑(jing)向(xiang)跳(tiao)動（Radial runout）：由于工具(ju)在(zai)平行于機器軸線的情況下發生平移(yi)，徑(jing)向(xiang)跳(tiao)動沿(yan)機器軸線的各個(ge)點測量結果相同(tong)。

軸向(xiang)跳動（Axial runout）：由于(yu)(yu)工具(ju)或(huo)零件與(yu)軸線有角度，導致工具(ju)（或(huo)軸）jian 端相(xiang)對于(yu)(yu)基準(zhun)位置偏(pian)離中心旋(xuan)轉。軸向(xiang)跳動的(de)大小取(qu)決于(yu)(yu)測量點(dian)與(yu)基準(zhun)位置的(de)距(ju)離。

ALIO的(de)(de)6-D 納(na)米精度(du)(du)工(gong)作臺(tai)的(de)(de)核心是串聯和平行運(yun)動(dong)(dong)學的(de)(de)結(jie)合，這使得傳統的(de)(de)六(liu)足運(yun)動(dong)(dong)學過時了，在精度(du)(du)、路(lu)徑性能、速度(du)(du)、剛(gang)度(du)(du)和更大的(de)(de)工(gong)作范圍(幾(ji)乎無限的(de)(de)XY行程(cheng)，wan全可編程(cheng)的(de)(de)工(gong)具中(zhong)心點位置)方面都有數量級的(de)(de)改進。

ALIO的(de)Hybrid Hexapod®具有(you)小于100納米的(de)3維6軸點(dian)精度(du)重復性，使其成為激(ji)光加工(gong)、光學(xue)檢測(ce)、光電子、半導體、計量(liang)和醫療設備領域以及(ji)所有(you)微加工(gong)項目(mu)的(de)關(guan)鍵任務應用的(de)關(guan)鍵技術。

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